[发明专利]集成型光模块的光轴调整方法、制造方法以及光轴调整装置有效
| 申请号: | 201780065733.5 | 申请日: | 2017-11-10 |
| 公开(公告)号: | CN109891287B | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
| 发明(设计)人: | 神山大知;小寺秀和;佐藤义也;畑端佳;下野真也 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号: | G02B6/293 | 分类号: | G02B6/293;G02B6/42 |
| 代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 刘杨 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 集成 模块 光轴 调整 方法 制造 以及 装置 | ||
1.一种光轴调整方法,是在封装内具备光分波器和至少第1受光元件及第2受光元件的集成型光模块的光轴调整方法,所述光分波器将入射光分波为波长不同的至少第1光和第2光,所述第1光适合于第1受光元件的受光波长波段,所述第2光适合于第2受光元件的受光波长波段,所述第1受光元件及第2受光元件分别接收第1光及第2光,其特征在于,所述光轴调整方法包括:
使导入到封装内的入射光的波长变化,通过第1受光元件及第2受光元件分别检测由第1滤波器及第2滤波器分波的光来测定输出电流的测定工序;
根据相对于入射光的波长变化的输出电流的变化来检测第1光及第2光的中心波长的检测工序;
将第1光及第2光的中心波长和第1滤波器及第2滤波器的设计透过波长进行比较,将各自的差值设为第1波长偏移及第2波长偏移的工序;以及
调整光分波器的位置以使第1波长偏移及第2波长偏移的总和处于设计范围内的调整工序。
2.根据权利要求1所述的光轴调整方法,其特征在于,
所述入射光由能够使波长变化的单一波长的光构成,
所述测定工序是在包含第1波长及第2波长的波长区域中使入射光的波长变化的工序。
3.根据权利要求1所述的光轴调整方法,其特征在于,
所述入射光包含第1波长及第2波长的光,
所述测定工序是在包含第1波长的波长区域和包含第2波长的波长区域中分别使入射光的波长变化的工序。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的光轴调整方法,其特征在于,
所述入射光由能够使波长变化到第1波长波段以外的波长波段的光构成,
所述测定工序是检测从光分波器的第1滤波器反射的光、并以与入射光垂直的角度为基准将光分波器调整到设计角度的工序。
5.根据权利要求3所述的光轴调整方法,其特征在于,
使所述第1波长的光在包含第1波长的波长区域中变化的工序和使所述第2波长的光在包含第2波长的波长区域中变化的工序同时进行。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的光轴调整方法,其特征在于,
所述调整工序是调整光分波器的位置以使第1波长偏移的值及第2波长偏移的值的平方和达到最小的工序。
7.根据权利要求1至3中任一项所述的光轴调整方法,其特征在于,
所述调整工序是以与固定有所述受光元件的封装的底面垂直的轴为中心使所述光分波器旋转的工序。
8.一种集成型光模块的制造方法,其特征在于,
包括在利用权利要求1至7中任一项所述的光轴调整方法进行了光轴调整后在进行了光轴调整的位置将所述光分波器粘接于所述封装的粘接工序。
9.根据权利要求8所述的集成型光模块的制造方法,其特征在于,所述粘接工序是在所述光分波器与所述封装的底面之间涂布紫外线固化性树脂、并照射紫外线而使紫外线固化性树脂固化的工序。
10.一种光轴调整装置,是在封装内设置有光分波器和第1受光元件及第2受光元件的集成型光模块的光轴调整装置,所述光分波器将入射光分波为波长不同的第1光及第2光,所述第1受光元件及第2受光元件分别接收第1光及第2光,其特征在于,所述光轴调整装置包括:
工作台,其载置并固定安装有第1受光元件及第2受光元件的封装;
把持机构,其在封装内把持具备第1滤波器及第2滤波器的光分波器;
光源,其供给入射光;
电流测量设备,其通过第1受光元件及第2受光元件检测第1光及第2光,根据检测出的光得到输出电流;以及
PC单元,其根据入射光的波长和输出电流来检测第1光及第2光的中心波长,将第1光及第2光的中心波长和第1滤波器及第2滤波器的设计透过波长进行比较,将各自的差值设为第1波长偏移及第2波长偏移,计算使第1波长偏移及第2波长偏移的总和变小的光分波器的位置,
基于PC单元的计算结果,把持机构使光分波器移动。
11.根据权利要求10所述的光轴调整装置,其特征在于,
所述光源包括供给的光的波长不同的第1光源及第2光源。
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