[发明专利]基于衍射的聚焦度量

权利要求书

1.一种基于衍射的聚焦目标单元，其包括具有粗节距的周期性结构及以细节距布置的多个元件，其中所述粗节距是所述细节距的整数倍，其中所述细节距在一个设计规则节距与两个设计规则节距之间且小于测量分辨率，且所述粗节距大于所述测量分辨率，其中所述测量分辨率是测量工具的分辨率，

其中所述多个元件能使用平版印刷工具印刷，且是不对称的以提供散射照明的+1衍射级及-1衍射级中的不同振幅，

其中所述设计规则节距是能通过所述平版印刷工具印刷的最小节距，且

其中所述多个元件的子组具有大于所述设计规则节距的临界尺寸，且所述多个元件的其它子组具有小于所述设计规则节距的临界尺寸。

2.根据权利要求1所述的基于衍射的聚焦目标单元，其进一步包括具有小于所述设计规则节距的临界尺寸的线，所述线界定以所述细节距布置的所述多个元件。

3.一种基于衍射的聚焦目标，其包括多个根据权利要求1所述的基于衍射的聚焦目标单元，具有具备所述多个元件的相反不对称性的至少两对单元，且其中所述基于衍射的聚焦目标具有180°旋转对称性。

4.一种非暂时性计算机可读媒体，其存储经配置以执行根据权利要求3所述的基于衍射的聚焦目标的目标设计文件的程序。

5.一种基于衍射的聚焦度量方法，其包括使用至少一个根据权利要求1所述的基于衍射的聚焦目标单元测量印刷工具的聚焦位置。

6.一种基于衍射的聚焦度量方法，其包括：

使用至少一个基于衍射的聚焦目标单元来测量印刷工具的聚焦位置，所述至少一个基于衍射的聚焦目标单元具有以一个设计规则节距与两个设计规则节距之间且小于测量分辨率的细节距布置的不对称元件，所述至少一个基于衍射的聚焦目标单元具有粗节距，所述粗节距是所述细节距的整数倍且大于所述测量分辨率，其中所述不对称元件能使用平版印刷工具印刷，

其中所述测量分辨率是测量工具的分辨率，

其中所述设计规则节距是能通过所述平版印刷工具印刷的最小节距，且

其中所述不对称元件经设计以提供散射照明的+1衍射级及-1衍射级中的不同振幅，且其中所述不对称元件的子组具有大于所述设计规则节距的临界尺寸，且所述不对称元件的其它子组具有小于所述设计规则节距的临界尺寸。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述基于衍射的聚焦目标单元经布置在具有180°旋转对称性的聚焦目标中。

8.一种非暂时性计算机可读存储媒体，其具有与其一起体现的计算机可读程序，所述计算机可读程序经配置以实施根据权利要求6所述的方法。

9.一种散射测量覆盖测量工具，其包括经配置以实施根据权利要求6所述的方法的聚焦模块。

10.一种基于衍射的聚焦度量方法，其包括通过以下步骤设计基于衍射的聚焦目标：

将基于衍射的聚焦目标单元设计为具有以一个设计规则节距与两个设计规则节距之间且小于测量分辨率的细节距布置的不对称元件，所述不对称元件能使用平版印刷工具印刷，其中，所述设计规则节距是能通过所述平版印刷工具印刷的最小节距，至少一个基于衍射的聚焦目标单元具有粗节距，所述粗节距是所述细节距的整数倍且大于所述测量分辨率，其中所述测量分辨率是测量工具的分辨率，

配置所述不对称元件以提供散射照明的+1衍射级及-1衍射级中的不同振幅，其中所述不对称元件的子组具有大于所述设计规则节距的临界尺寸，且所述不对称元件的其它子组具有小于所述设计规则节距的临界尺寸，及

将经设计的基于衍射的聚焦目标单元布置在具有180°旋转对称性的聚焦目标中。

11.一种基于衍射的聚焦目标，其包括多个根据权利要求2所述的基于衍射的聚焦目标单元，具有具备所述多个元件的相反不对称性的至少两对单元，且其中所述基于衍射的聚焦目标具有180°旋转对称性。