[发明专利]使用聚轮烷的氨基甲酸酯树脂、以及抛光垫

说明书

本发明提供被认为交联点均匀分散、可适度分子运动的、耐磨性高的滑动部件用的氨基甲酸酯树脂。特别地，提供可适合用作抛光垫的氨基甲酸酯树脂。本发明提供抛光用氨基甲酸酯树脂，其是通过聚合含有以下成分的聚合性组合物而得到的：具有由轴分子和包合该轴分子的多个环状分子形成的复合分子结构、且在该环状分子的至少一部分中引入具有含活性氢基团的侧链的聚轮烷(A)，以及多异(硫)氰酸酯化合物(B)。

技术领域

本发明涉及新的氨基甲酸酯树脂。具体地，涉及聚合特定的聚合性单体成分而得到的新的氨基甲酸酯树脂、以及含有该氨基甲酸酯树脂的新的抛光垫。

背景技术

抛光用部件是指通过抛光剂使对象的被抛光部件平坦化时使用的部件。具体地，该抛光用部件是指在将被抛光部件的表面平坦化时，一边将浆料等抛光剂供给该表面，一边使抛光剂滑动地与该表面接触来使用的部件。例如，包括抛光垫。

在这样的抛光用部件中，大多使用聚氨酯树脂。一般地，作为抛光用部件，从降低成本、稳定制造和提高生产率的观点考虑，总是期望长期耐磨耗良好的耐久性高的材料。

抛光用部件具体地用作CMP(化学机械抛光)法中的垫材(以下，有时称为抛光垫)。CMP法是赋予优异的表面平坦性的抛光方法，特别是可以在液晶显示器(LCD)、硬盘用玻璃基盘、硅晶片、半导体器件的制造工艺中采用。

在上述CMP法中，通常，在抛光加工时，一般采用供给使磨粒分散在碱性溶液或酸性溶液中而得到的浆料(抛光液)来抛光的方式。即，被抛光物通过浆料中的磨粒的机械作用和碱性溶液或酸性溶液的化学作用而平坦化。通常，通过将该浆料供给于被抛光物的表面，一边滑动抛光垫材一边使之与该表面接触，由此使该抛光物的表面平坦化。

作为在上述CMP法中的抛光垫的抛光特性，要求向被抛光物赋予优异的平坦性，抛光速率(抛光速度)大。进而，为了提高生产率，期望提高耐磨性。

作为这样的抛光垫的材质，已知有由氨基甲酸酯固化性组合物得到的抛光材料，所述氨基甲酸酯固化性组合物包含：含有使多元醇和甲苯二异氰酸酯这样的多异氰酸酯反应而得到的氨基甲酸酯预聚物的主剂、和含有胺化合物的固化剂(参照专利文献1)。进而，作为耐磨性更加提高的材料，已知有使用对苯二异氰酸酯作为多异氰酸酯化合物的抛光材料(参照专利文献2)。

但是，这些方法中记载的抛光材料中的多元醇化合物为二醇化合物，在得到的氨基甲酸酯树脂中，不存在交联结构，因而，为了应对近年来的高度的耐磨性的要求，还有改善的余地。

另一方面，近年来，作为新结构的聚合物，推荐开发聚轮烷。该聚轮烷是具有由轴分子和包合该轴分子的多个环状分子形成的复合分子结构的功能性材料。作为具体的开发例，例如可举出用于磨耗部分的、成为滑动性优异的部件的聚轮烷(例如，参照专利文献3)。

但是，认为含有专利文献3中记载的聚轮烷的材料主要以用于运动用品、建筑材料或医疗材料为目的，但从满足高度的耐磨性的观点考虑，尚存改善的余地。

另外，除此以外，使用聚轮烷，研究了如下这样的树脂。例如，已知有含有聚轮烷和热塑性聚氨酯的热塑性树脂(参照专利文献4)。该专利文献4中记载的热塑性树脂通过含有聚轮烷，提高了热塑性聚氨酯树脂的机械特性，但仅仅是单纯地混合该聚轮烷和热塑性聚氨酯，从满足高度的耐磨性的观点考虑，尚存改善的余地。

对此，也进行了将聚轮烷本身摄入聚氨酯的分子内来改善该聚氨酯的机械特性的方法(参照专利文献5～7)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2007-77207号公报

专利文献2：特开2015-178558号公报

专利文献3：国际公开WO2006/115255号小册子