[发明专利]碳纳米管集合体

说明书

本发明提供夹持力优异的碳纳米管集合体。本发明的碳纳米管集合体为由多个碳纳米管构成的片状的碳纳米管集合体，在该碳纳米管集合体的表面及/或背面，利用压入负荷设为500μN的纳米压痕法测得的凝集力N为3nJ以上。

技术领域

本发明涉及碳纳米管集合体。

背景技术

在半导体元件等的制造工序中，在对材料、半成品、制品等被加工物进行搬送时，使用移动臂或移动台等搬送基材对该被加工物进行搬送(例如，参见专利文献1、2)。在进行这样的搬送时，要求载置被加工物的部件(搬送固定夹具)具有使得被加工物在搬送中不偏移这样的强夹持力(grip force)。另外，这样的要求伴随着制造工序高速化的要求而逐年提高。

然而，就以往的搬送固定夹具而言，通过树脂等弹性材料来保持被加工物，从而存在该弹性材料容易附着并残留于被加工物的问题。另外，树脂等弹性材料的耐热性较低，有在高温环境下其夹持力下降这样的问题。

若将陶瓷等材料用于搬送固定夹具，则可防止被加工物的污染，另外，夹持力的温度依赖性降低。然而，由这样的材料构成的搬送固定夹具本质上夹持力较低，存在即便在常温下也无法充分保持被加工物的问题。

另外，作为在高温环境下保持被加工物的方法，可列举减压吸附的方法、利用搬送固定夹具的形状来固定被加工物的方法(例如，卡盘固定(chucking)、镗孔固定等)等。然而，进行减压吸附的方法仅在大气氛围下有效，无法在CVD工序等的真空下使用。另外，在利用搬送固定夹具的形状来固定被加工物的方法中，存在因被加工物与搬送固定夹具的接触而导致被加工物受到损伤、产生颗粒等问题。

作为解决上述问题的方法，考虑将具备碳纳米管集合体的粘合性结构体用于搬送固定夹具。碳纳米管集合体能够利用范德华力来保持被加工物，但另一方面，在要求高速搬送的情况下等，存在夹持力不充分的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001-351961号公报

专利文献2：日本特开2013-138152号公报

发明内容

发明要解决的课题

本发明的课题在于提供夹持力优异的碳纳米管集合体。

用于解决课题的手段

本发明的碳纳米管集合体为由多个碳纳米管构成的片状的碳纳米管集合体，在该碳纳米管集合体的表面及/或背面，利用压入负荷设为500μN的纳米压痕法测得的凝集力N为3nJ以上。

在一个实施方式中，利用上述纳米压痕法测得的硬度为0.4MPa以下。

在一个实施方式中，本发明的碳纳米管集合体为由多个碳纳米管构成的片状的碳纳米管集合体，在该碳纳米管集合体的表面及/或背面，利用压入负荷设为320g/cm²的热机械分析(TMA)测得的凝集力T为100μJ以上。

在一个实施方式中，在上述碳纳米管集合体的长度方向的端部附近存在碳纳米管的非取向部。

发明的效果

根据本发明，通过将单面或双面的碳纳米管集合体的凝集力设为规定的值，能够提供夹持力优异的碳纳米管集合体。

附图说明

图1为基于本发明的一个实施方式的碳纳米管集合体的示意截面图。

图2为对基于本发明的一个实施方式的碳纳米管集合体的纳米压痕法的负荷-位移曲线进行说明的图。

图3为对基于本发明的一个实施方式的碳纳米管集合体的、利用TMA得到的负荷-位移曲线进行说明的图。