[发明专利]用于流量标定的基准体积物的系统和方法

权利要求书

1.一种用于基准体积物测量的系统，包括：

基准体积物腔室，具有用于流体通过所述基准体积物腔室的入口部分和出口部分；

所述基准体积物腔室的内部区域，具有底壁、顶壁、中心壁和侧壁，其中所述中心壁从所述底壁的中部延伸而不与所述顶壁结合，从而形成用于流体运动的间隙；

所述基准体积物腔室的外壁，被导热盖包围，以提供导热，使得所述基准体积物腔室中的流体的温度受到环境影响；以及

所述中心壁和所述侧壁能够与一个或多个传感器或可编程逻辑控制器PLC固定，

其中所述基准体积物腔室还包括鳍状件，其横截面和长度与相邻间隙流体区域的横截面和长度相当。

2.根据权利要求1所述的用于基准体积物测量的系统，其中，所述一个或多个传感器是选自负温度系数NTC热敏电阻、电阻温度检测器RTD、热电偶或基于半导体的传感器的组群中的热传感器。

3.根据权利要求1所述的用于基准体积物测量的系统，其中，所述一个或多个传感器是选自绝对压力传感器。

4.根据权利要求1所述的用于基准体积物测量的系统，其中，所述一个或多个传感器是表压传感器。

5.根据权利要求1所述的用于基准体积物测量的系统，其中，所述一个或多个传感器是真空压力传感器。

6.根据权利要求1所述的用于基准体积物测量的系统，其中，所述一个或多个传感器是差压传感器。

7.根据权利要求1所述的用于基准体积物测量的系统，其中，所述一个或多个传感器是密封压力传感器。

8.根据权利要求1所述的用于基准体积物测量的系统，其中，所述中心壁具有管状结构并直接连接到所述基准体积物腔室的出口部分。

9.根据权利要求1所述的用于基准体积物测量的系统，其中，所述可编程逻辑控制器使用来自包括功能块图FBD、梯形图LD、结构化文本ST、指令列表IL和顺序功能图SFC的组群中的编程语言。

10.根据权利要求1所述的用于基准体积物测量的系统，其中，所述侧壁具有鳍状结构，所述中心壁、所述底壁和所述顶壁由耐腐蚀合金制成。

11.根据权利要求1所述的用于基准体积物测量的系统，其中，内侧壁、所述中心壁、所述底壁和所述顶壁用耐腐蚀涂层处理。

12.根据权利要求1所述的用于基准体积物测量的系统，其中，所述侧壁、所述中心壁、所述底壁和所述顶壁覆盖有耐腐蚀金属丝网。

13.根据权利要求1所述的用于基准体积物测量的系统，其中，所述流体是半导体工业气体。

14.根据权利要求13所述的用于基准体积物测量的系统，其中，所述半导体工业气体选自包括氯气和六氟乙烷、水蒸气、三氯化硼、硅烷、氩气和氮气的组群。

15.根据权利要求1所述的用于基准体积物测量的系统，其中，所述侧壁、所述中心壁、所述底壁和所述顶壁由选自包括铬、不锈钢、钴、镍、铁、钛和钼的组群中的材料制成。

16.根据权利要求1所述的用于基准体积物测量的系统，其中，所述导热盖选自包括铜或铝的组群。

17.根据权利要求1所述的用于基准体积物测量的系统，其中，所述导热盖通过选自包括机械夹紧、用导热粘合剂粘合、钎焊或收缩配合方法论的组群中的方法而附接到所述基准体积物腔室的外壁。