[发明专利]用于执行集成干涉图扫描的波导光谱仪

权利要求书

1.用于执行集成干涉图扫描的波导光谱仪(1)，包括：

-具有至少一个波导(11)的至少一个基底层(10)，每个波导(11)从入口面(12)延伸并且被构造为引导接收的光，

-被构造为外耦合从所述波导(11)中出来的光的、位于所述波导(11)中的至少一个隐失场采样器，被构造为检测外耦合的光的至少一个光感测单元均电连接到电读出系统，

-用于实现所述波导(11)内的反向传播光学信号的器件，被构造为获得反向传播光学信号之间的干涉，以干涉图生成沿着所述波导(11)的干涉图样，其特征在于

所述波导光谱仪(1)包括至少一个集成的调制器，所述至少一个集成的调制器被构造为能够调节引导的光学信号并被构造为用于改变折射率，其中，所述至少一个集成的调制器是由紧邻导芯或波导(11)旁边设置的电极(30；30')实现的，生成用于调制干涉图所需的光学相移，并且其中，波导(11)与每个电极(30；30')之间的距离(d)为d≥0mm。

2.根据权利要求1所述的波导光谱仪(1)，其特征在于，所述波导光谱仪(1)包括反射元件(13)，其中，所述波导(11)从通过基底层(10)的入口面(12)延伸到反射元件(13)，以实现李普曼构造。

3.根据权利要求1所述的波导光谱仪(1)，其特征在于，在盖伯构造中，用于实现反向传播光学信号的器件包括分束元件，所述分束元件被构造为将接收的光学信号分为两个单独的信号，所述两个单独的信号通过两个入口面(12；12')被引导到所述波导(11)中以实现波导(11)内的反向传播。

4.根据前述权利要求中的一项所述的波导光谱仪(1)，其特征在于，所述电极(30；30')设置在朝向所述基底层(10)的前侧(I)的顶表面上，位于所述波导(11)旁边并且在所述顶表面上沿着长度(le)行进。

5.根据前述权利要求中的一项所述的波导光谱仪(1)，其特征在于，所述电极(30；30')设置在所述波导(11)的旁边在所述基底层(10)的相对的侧面上，并且垂直于所述基底层(10)的前侧(I)沿着长度(le)行进。

6.根据前述权利要求中的一项所述的波导光谱仪(1)，其特征在于，所述波导(11)中的被构造为外耦合来自所述波导(11)的光的至少一个隐失场采样器是光子晶体光锥(20)和/或蚀刻沟槽(21)和/或金属纳米采样器(22)。

7.根据前述权利要求中的一项所述的波导光谱仪(1)，其特征在于，所述至少一个波导(11)特别是通过飞秒脉冲激光直接刻写到所述基底层(10)中。

8.根据前述权利要求中的一项所述的波导光谱仪(1)，其特征在于，集成的信号调制器利用电光效应来实现折射率性质的调制。

9.根据前述权利要求中的一项所述的波导光谱仪(1)，其特征在于，波导结构材料包含LiNbO₃，其中至少一个折射率调制器直接在LiNbO₃上实施。

10.用于制造根据前述权利要求中的一项所述的波导光谱仪的方法，包括以下步骤：

-沿着基底层(10)的长度(l)的方向利用激光束在所述基底层(10)中刻写至少一个表面波导(11)，

-将至少一个隐失场采样器设置到所述波导(11)中，所述至少一个隐失场采样器被构造为外耦合从所述波导(11)中出来的光，

-设置用于实现所述波导(11)内的反向传播光学信号的器件，其被构造为获得反向传播光学信号之间的干涉，生成沿着所述波导(11)的干涉图样，

-设置被构造为检测外耦合的光的一个或多个光感测单元，其均电连接到电读出系统，

其特征在于，用于调制光学干涉图的电极(30；30')紧邻导芯或波导(11)旁边设置。