[发明专利]用于感测在测量气体室中的测量气体的颗粒的传感器元件

权利要求书

1.用于感测在测量气体室中的测量气体的颗粒的传感器元件(110)，其中，所述传感器元件(110)包括至少一个载体(114)，其中，在所述载体(114)上施加有至少一个第一电极装置(116)和至少一个第二电极装置(118)，其中，所述第一电极装置(116)和所述第二电极装置(118)分别具有至少一个电极指(112)，其中，所述电极指(112)具有层构造(120)，其中，所述层构造(120)包括至少一个第一金属层(124)和至少一个第二金属层(124)。

2.根据前述权利要求所述的传感器元件(110)，其中，所述第一电极装置(116)和所述第二电极装置(118)分别具有至少两个电极指(112)。

3.根据前述权利要求中任一项所述的传感器元件(110)，其中，所述第一金属层(122)包括从一个组中选择出的至少一种材料，该组由以下材料组成：纯金属，尤其是从由铂和钯组成的组中选择出的纯金属；合金，尤其是包括金属铂和/或钯中的至少一种金属的合金；金属陶瓷复合材料，其中，金属、尤其是从由铂和钯组成的组中选择出的金属在所述金属陶瓷复合材料中所占质量含量超过50％。

4.根据前述权利要求中任一项所述的传感器元件(110)，其中，所述第二金属层(124)包括从一个组中选择出的至少一种材料，该组由以下材料组成：纯金属，尤其是铑、铱或铼；合金，尤其是包括金属铑、铱或铼中的至少一种金属的合金；金属陶瓷复合材料，其中，金属、尤其是从由铑、铱和铼组成的组中选择出的金属在所述金属陶瓷复合材料中所占质量含量超过50％。

5.根据前述权利要求中任一项所述的传感器元件(110)，其中，所述第一金属层(122)的厚度处于0.1μm至50μm的范围内。

6.根据前述权利要求中任一项所述的传感器元件(110)，其中，所述第二金属层(124)的厚度处于0.01μm至15μm的范围内。

7.根据前述权利要求中任一项所述的传感器元件(110)，其中，所述电极指(112)的厚度与所述电极指(112)的宽度的商处于0.03至0.6的范围内。

8.用于制造用于感测在测量气体室中的测量气体的颗粒的传感器元件(110)的方法，其中，所述方法包括以下步骤：

a)提供至少一个载体(114)；

b)将至少一个第一电极装置(116)和至少一个第二电极装置(118)施加到所述至少一个载体(114)上，其中，所述第一电极装置(116)和所述第二电极装置(118)分别具有至少一个电极指(112)，其中，所述电极指(112)具有层构造(120)，其中，所述层构造(120)具有至少一个第一金属层(122)和至少一个第二金属层(124)。

9.根据前一权利要求所述的方法，其中，步骤b)包括下面的分步骤：

b1)施加第一金属层(122)；和

b2)将第二金属层(124)施加到所述第一金属层(122)上。

10.根据前一权利要求所述的方法，其中，步骤b)还包括下面的分步骤：

b3)焙烧所述第二金属层(124)。

11.根据前面两个权利要求中任一项所述的方法，其中，在步骤b1)和b2)中使用不同的涂覆方法以施加所述第一金属层(122)和所述第二金属层(124)。