[发明专利]悬臂式剪切谐振麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，包括：

基结构；

具有第一端和第二端的压电谐振器本体，第一端由基结构固定支撑并且第二端是自由的，使得压电谐振器是从基结构悬臂式的；

可操作地连接到压电谐振器本体的第一电极；

可操作地连接到压电谐振器本体的第二电极；

包括至少一个电路的控制器，所述至少一个电路可操作地连接到第一和第二电极并且被配置为以压电谐振器本体的剪切谐振频率驱动压电谐振器本体，检测由声压导致的剪切谐振频率与当前基线谐振频率的差异，并且基于检测到的差异确定至少一个声音特性。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中：

压电谐振器本体形成在平面中；并且

控制器被配置为驱动压电谐振器本体在压电谐振器本体的平面中谐振。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其中配置压电谐振器本体，使得声压使压电谐振器本体至少部分地偏转出平面，从而引起剪切谐振频率与基线谐振频率的差异。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中压电谐振器本体和基结构由共同基板整体形成。

5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中限定将压电谐振器本体的第二端从基结构分离的声学泄漏路径。

6.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其中限定具有弓形形状的声学泄漏路径，并且声学泄漏路径围绕在压电谐振器本体周围的300度和350度之间的弧。

7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中压电谐振器本体由AT切割石英晶体形成。

8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中第一电极覆镀在压电谐振器本体的第一侧上，并且第二电极覆镀在压电谐振器本体的第二相反侧上。

9.根据权利要求7所述的MEMS麦克风，其中第一和第二电极每个包括圆形电极部分，并且第一电极的圆形电极部分具有与第二电极的圆形电极部分不同的表面积。

10.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中第一和第二电极至少部分地由铂、铬和金中的一种形成。

11.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中控制器包括被配置为驱动压电谐振器本体的阻抗电路和振荡器电路中的一个。

12.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中控制器包括频率到电压转换器，所述频率到电压转换器被配置为检测由声压引起的谐振频率与基线谐振频率的差异。

13.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中控制器还被配置为追踪导纳或散射参数，以根据谐振频率与基线谐振频率的所确定的差异来确定声压的特性。

14.一种检测声音的方法，包括：

利用控制器驱动压电谐振器本体，所述压电谐振器本体以悬臂式方式从基部受到支撑以在剪切谐振频率处谐振，压电谐振器本体通过第一电极和第二电极可操作地连接到控制器；

利用控制器检测由作用在压电谐振器本体上的声压导致的剪切谐振频率从当前基线谐振频率的频率偏移；以及

利用控制器基于检测到的频率偏移确定至少一个声音特性。