[发明专利]照明装置、曝光装置以及物品的制造方法

权利要求书

1.一种照明装置，用来自光源的光对被照明面进行照明，其特征在于，具有：

光学系统，在与所述被照明面在光学上共轭的面形成沿着第1方向具有长边方向、沿着与所述第1方向正交的第2方向具有短边方向的矩形形状的照明区域；以及

遮光板，配置于与所述被照明面在光学上共轭的面，设置有圆弧状的开口，

所述光学系统包括以可更换的方式配置于所述光的光路、形成覆盖所述圆弧状的开口的所述照明区域的第1积分器以及第2积分器，

所述第1积分器形成第1照明区域，该第1照明区域在所述第1方向上具有第1长度，在所述第2方向上具有第2长度，

所述第2积分器以使所述第1照明区域的沿着所述第1方向的边中的所述圆弧状的开口的凸侧的边、和第2照明区域的沿着所述第1方向的边中的所述圆弧状的开口的凸侧的边一致的方式形成所述第2照明区域，该第2照明区域在所述第1方向上具有比所述第1长度短的第3长度，在所述第2方向上具有比所述第2长度短的第4长度。

2.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，

所述第2积分器沿着所述光的行进方向依次包括在所述光的入射侧的面排列有多个第1微透镜的第1复眼透镜、和在所述光的射出侧的面排列有多个第2微透镜的第2复眼透镜，

以使所述多个第1微透镜各自的所述光的入射侧的面在所述第2方向上的中心位置、和与所述多个第1微透镜的各个微透镜对应的所述多个第2微透镜各自的所述光的射出侧的面在所述第2方向上的中心位置在所述第2方向上相对地偏移的方式，配置有所述第1复眼透镜和所述第2复眼透镜。

3.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，

所述第2积分器沿着所述光的行进方向依次包括在所述光的入射侧的面排列有多个第1微透镜的第1复眼透镜、和在所述光的射出侧的面排列有多个第2微透镜的第2复眼透镜，

以使连结所述多个第1微透镜各自的所述光的入射侧的面在所述第2方向上的中心位置和与所述多个第1微透镜的各个微透镜对应的所述多个第2微透镜各自的所述光的射出侧的面在所述第2方向上的中心位置的直线、和与所述第1方向以及所述第2方向正交的第3方向交叉的方式，配置所述第1复眼透镜和所述第2复眼透镜。

4.根据权利要求2所述的照明装置，其特征在于，

所述光作为集聚光入射到所述第1复眼透镜，

所述光学系统还具有在所述光路配置所述第2积分器的情况下配置于所述光源与所述第1复眼透镜之间的偏转部件，

所述偏转部件使所述光向所述第2方向偏转。

5.根据权利要求4所述的照明装置，其特征在于，

所述偏转部件以与在所述光路中未配置所述偏转部件的情况相比使从所述第1复眼透镜射出并入射到所述第2复眼透镜的光增加的方式，使所述光向所述第2方向偏转。

6.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，

所述第2积分器沿着所述光的行进方向依次包括在所述光的入射侧的面排列有多个第1微透镜的第1复眼透镜、和在所述光的射出侧的面排列有多个第2微透镜的第2复眼透镜，

以使所述多个第1微透镜各自的所述光的入射侧的面在所述第2方向上的中心位置和与所述多个第1微透镜的各个微透镜对应的所述多个第2微透镜各自的所述光的射出侧的面在所述第2方向上的中心位置存在于沿着与所述第1方向以及所述第2方向正交的第3方向的相同的轴上的方式，配置所述第1复眼透镜和所述第2复眼透镜，

所述多个第2微透镜各自的所述光的射出侧的面由曲面构成，在从所述多个第2微透镜各自的所述光的射出侧的面在所述第2方向上的中心位置在所述第2方向上偏移后的位置具有所述曲面的顶点。