[发明专利]接地夹紧装置及包括其的基板支撑组件

权利要求书

1.一种接地夹紧装置，所述接地夹紧装置使形成有中空的中空构件及加装在所述中空内的接地杆接地，其中，包括：

夹具主体，其具备贯通槽，以便包围所述接地杆的外壳部，并且包括第一箝位器及第二箝位器，所述第一箝位器与所述第二箝位器彼此隔开、分离地相向配备；

弹性连接部，其在所述中空内部弹性接触所述中空构件的内侧，连接于所述夹具主体，且包括接触于所述第一箝位器的外面的第一接触部和接触于所述第二箝位器的外面的第二接触部；及

紧固部，其使所述弹性连接部紧固于所述夹具主体。

2.根据权利要求1所述的接地夹紧装置，其中，

所述第一箝位器在第一内面具备向第一方向延长的第一凹处，

所述第二箝位器具备在与所述第一内面相向的第二内面形成并与所述第一凹处一同形成所述贯通槽的第二凹处。

3.根据权利要求2所述的接地夹紧装置，其中，

在所述第一箝位器及第二箝位器各自相互相向的边角部形成有倒角。

4.根据权利要求1所述的接地夹紧装置，其中，

所述夹具主体包括在其表面形成的防氧化涂层。

5.根据权利要求1所述的接地夹紧装置，其中，

所述中空以圆柱形状形成，所述弹性连接部与所述中空构件的内侧面实现面接触。

6.根据权利要求1所述的接地夹紧装置，其中，

在所述弹性连接部及所述中空构件之间进行面接触的接触面积，按所述中空的平面面积为基准，具有2.0至3.2％范围。

7.根据权利要求1所述的接地夹紧装置，其中，

所述弹性连接部具有U字形状。

8.根据权利要求1所述的接地夹紧装置，其中，

所述弹性连接部还包括：起弧部，其与所述第一接触部及第二接触部连接，弹性接触所述中空构件，具有弧形形状。

9.根据权利要求8所述的接地夹紧装置，其中，

所述第一接触部、第二接触部及起弧部一体形成。

10.根据权利要求9所述的接地夹紧装置，其中，

所述弹性连接部具有0.1至1.0mm范围的厚度。

11.一种基板支撑组件，其中，包括：

基板支撑部，其支撑基板，具备用于形成等离子体的接地电极；

安装部，其配备用于安装所述基板支撑部，在其内部沿上下方向形成有中空；

接地杆，其与所述接地电极电气连接，配置于所述中空内部；及

第一接地夹紧装置，其位于在所述安装部形成的所述中空内，部分地夹紧所述接地杆的外周面，使所述安装部及所述接地杆之间电气连接，使所述接地杆电气接地；

所述第一接地夹紧装置包括：夹具主体，其具备贯通槽，以便包围所述接地杆的外壳部，并且包括第一箝位器及第二箝位器，所述第一箝位器与所述第二箝位器彼此隔开、分离地相向配备；

弹性连接部，其弹性接触所述安装部的内侧，与所述夹具主体连接，且包括接触于所述第一箝位器的外面的第一接触部和接触于所述第二箝位器的外面的第二接触部；及

第一紧固部，其使所述弹性连接部紧固于所述夹具主体。

12.根据权利要求11所述的基板支撑组件，其中，

所述第一箝位器在第一内面具备向第一方向延长的第一凹处，

所述第二箝位器具备在与所述第一内面相向的第二内面形成并与所述第一凹处一同形成所述贯通槽的第二凹处。

13.根据权利要求11所述的基板支撑组件，其中，

所述弹性连接部与定义所述中空的所述安装部的内侧面实现面接触。