[发明专利]感光性树脂组合物和感光性树脂层叠体

权利要求书

1.一种感光性树脂层叠体，其具备：支承薄膜、和形成于该支承薄膜上并包含感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层，其中，在所述支承薄膜的任意10处切出一边5mm的正方形小片时，各小片中所含的1.5μm以上且小于4.5μm的微粒的数量以所述10处平均计为1～200个，

含有小于1.5μm的微粒，

所述感光性树脂组合物以该感光性树脂组合物的全部固体成分质量基准计，包含以下成分：

(A)碱溶性高分子：10质量％～90质量％；

(B)具有烯属不饱和双键的化合物：5质量％～70质量％；以及

(C)光聚合引发剂：0.01质量％～20质量％，

所述(B)具有烯属不饱和双键的化合物包含分子内具有3个以上(甲基)丙烯酰基的化合物，

所述(A)碱溶性高分子的单体成分具有芳香族烃基，

所述具有芳香族烃基的单体成分的含有比例以全部单体成分的总质量为基准为20质量％以上。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂层叠体，其中，所述5mm见方的支承薄膜的小片中所含的1.5μm以上且小于4.5μm的微粒的数量以10处平均计为1～100个。

3.根据权利要求1所述的感光性树脂层叠体，其中，所述5mm见方的支承薄膜的小片中所含的1.5μm以上且小于4.5μm的微粒的数量以10处平均计为1～50个。

4.根据权利要求1所述的感光性树脂层叠体，其中，所述5mm见方的支承薄膜的小片中所含的1.5μm以上且小于4.5μm的微粒的数量以10处平均计为1～20个。

5.根据权利要求1所述的感光性树脂层叠体，其中，所述5mm见方的支承薄膜的小片中所含的1.5μm以上且小于4.5μm的微粒的数量以10处平均计为1～10个。

6.根据权利要求1所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(A)碱溶性高分子的玻璃化转变温度Tg的重均值Tg_total为30℃以上且135℃以下。

7.根据权利要求1所述的感光性树脂层叠体，其中，

以感光性树脂组合物的全部固体成分质量基准计，还包含以下成分：

(D)酚衍生物：0.001质量％～10质量％。

8.根据权利要求1～5中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述感光性树脂组合物中所含的水分量为0.7％以下。

9.根据权利要求8所述的感光性树脂层叠体，其中，所述感光性树脂组合物中所含的水分量为0.6％以下。

10.根据权利要求8所述的感光性树脂层叠体，其中，所述感光性树脂组合物中所含的水分量为0.5％以下。

11.根据权利要求1～5中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述支承薄膜与所述感光性树脂组合物层的层叠体的波长630nm下的透过率为80％以下。

12.根据权利要求11所述的感光性树脂层叠体，其中，所述支承薄膜与所述感光性树脂组合物层的层叠体的波长630nm下的透过率为70％以下。

13.根据权利要求11所述的感光性树脂层叠体，其中，所述支承薄膜与所述感光性树脂组合物层的层叠体的波长630nm下的透过率为60％以下。

14.一种抗蚀图案的形成方法，其包括以下的工序：

层叠工序，在基板上层叠权利要求1～13中任一项所述的感光性树脂层叠体；

曝光工序，对该感光性树脂层叠体的感光性树脂层进行曝光；和，

显影工序，将该感光性树脂层的未曝光部分显影去除。

15.根据权利要求14所述的抗蚀图案的形成方法，其中，通过利用描绘图案的直描的曝光方法、或将光掩模的图像通过透镜进行投影的曝光方法进行所述曝光工序。