[发明专利]用于处理部件的装置

权利要求书

1.一种用于处理半导体衬底(60)的装置(50)，所述装置包括外壳(52)和用于将气态混合物供给到所述外壳中的至少一个回路(68、70)，所述外壳包含至少一个支撑件(54)，所述支撑件包括支撑所述半导体衬底的板(58)的堆叠，每个板由导电材料制成并具有支撑所述半导体衬底中的至少一个的基本水平的表面(100；108；130)，其中所述板中的至少一个包括用于所述衬底和所述板之间的气态混合物的至少一个通道(112、116；120、122；134、136)，所述用于处理半导体衬底(60)的装置(50)还包括电连接到多个所述板的至少一个AC电压发电机(86)。

2.如权利要求1所述的装置，其中所述板(58)包括从所述表面(130)横跨所述板延伸的第一平行槽(134)和从所述表面(130)横跨所述板延伸并相对于所述第一平行槽倾斜的第二平行槽(136)。

3.如权利要求1所述的装置，其中所述板(58)包括从所述表面(100)突出并支撑所述半导体衬底(60)的垫(106)。

4.如权利要求1所述的装置，其中至少两个半导体衬底(60)搁置在所述板(58)上，所述板的表面(100)包括支撑所述衬底的位置(102)和从所述表面突出并至少部分地分隔两个位置的肋(114)。

5.如权利要求3所述的装置，其中所述板(58)的表面(100)包括位于所述半导体衬底(60)下方的凹部(120)和仅在其端部开口的通道(122)，所述通道将所述凹部连接到所述板的一个侧边缘。

6.如权利要求4所述的装置，其中所述板(58)的表面(100)包括位于所述半导体衬底(60)下方的凹部(120)和仅在其端部开口的通道(122)，所述通道将所述凹部连接到所述板的一个侧边缘。

7.如权利要求1至6中任一项所述的装置，包括用于将所述气态混合物供给到所述外壳(52)中的回路(68)，所述回路包括至少两个管道(72、74)，所述管道在所述外壳中布置在所述支撑件(54)的任一侧上，每个管道包括将所述气态混合物供给到所述外壳中的开口(76)。

8.如权利要求7所述的装置，其中所述管道(72、74)垂直延伸。

9.如权利要求7所述的装置，其中每个管道(72、74)的开口(76)的直径从所述管道的一端到另一端增加。

10.如权利要求7所述的装置，其中所述管道(72)中的一个的开口(76)相对于另一个管道(74)的开口(76)沿垂直方向偏移。

11.如权利要求7所述的装置，其中所述堆叠包括连续的N个板，所述管道(72)中的一个的开口(76)位于偶数层板的水平处，而另一个管道(74)的开口(76)位于奇数层板的水平处。

12.如权利要求7所述的装置，其中所述板(58)被分配为第一连续板(58)和第二连续板(58)，所述装置还包括用于将所述气态混合物供给到所述外壳中的第一回路(68)和用于将所述气态混合物供给到所述外壳中的第二回路(70)，所述第一回路包括至少两个第一管道(72、74)，所述第一管道在所述外壳中布置在第一板的任一侧，并且所述第二回路包括至少两个第二管道(72、74)，所述第二管道在所述外壳中布置在所述第二连续板的任一侧，每个第一管道和第二管道包括用于将所述气态混合物供给到所述外壳中的开口(76)。

13.如权利要求12所述的装置，包括连接到所述第一连续板(58)的具有第一AC电压的第一发电机(86)和连接到所述第二连续板的具有第二AC电压的第二发电机(88)。

14.如权利要求1至6中任一项所述的装置，包括连接到所述外壳(52)的真空泵(80)。

15.如权利要求1至6中任一项所述的装置，用于处理旨在制造光伏电池的半导体衬底(60)。