[发明专利]压电振子

说明书

压电振子(1)具备压电振动元件(100)、具有对置的第1和第2主面(302、304)的基板(300)、以及将压电振动元件(100)能够激励地保持在基板(300)的第1主面(302)上的导电性保持部件(340、342)，导电性保持部件(340、342)包括：以导电性材料为主要成分的第1填料(420)，和以绝缘性材料为主要成分，并且杨氏模量的值比该第1填料小的第2填料(410)，在从基板的第1主面(302)的法线方向观察的俯视图中，在比导电性保持部件(340、342)的中央区域(Rin)靠导电性保持部件(340、342)的外周区域(Rout)的部位，第2填料(410)以密集状态配置。

技术领域

本发明涉及压电振子，特别是涉及通过导电性保持部件将压电振动元件保持在基板上的压电振子。

背景技术

作为压电振子的一个方式，公知有在基板的主面通过悬臂支承载置压电振动元件的结构。在这样的结构中，例如，实现在压电振动元件形成的电极和在基板形成的电极间的电导通，并且使用以机械构造保持压电振动元件的粘接剂。例如，在专利文献1中，公开有在保持压电振动片的粘接剂中混入了包覆良导体的金属而成的球形间隔物的压电设备。

专利文献1:日本特开2014-150452号公报

压电振动元件具备圧电基板、和在圧电基板的两主面设置的激励电极。一般来说，压电振动元件随着从由激励电极夹持的激励部分向圧电基板的外缘靠近而振动逐渐衰减。此处，形成为在使压电振子小型化的情况下，对于压电振动元件与基板主面的粘接而言，不仅在压电振动元件的外缘附近(即，振动衰减的区域)附上粘接剂，在与压电振动元件的激励部分靠近的部分(即，振动未充分衰减的区域)也附上粘接剂。鉴于该点，在专利文献1中公开的压电设备中，存在因与靠近该压电振动元件的激励部分的部分接合的粘接剂而阻碍振动，从而压电振子的特性劣化的问题。

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于提供即便在使压电振子小型化的情况下也抑制振子特性的劣化的压电振子。

本发明的一方案所涉及的压电振子具备：压电振动元件；基板，其具有对置的第1和第2主面；以及导电性保持部件，其将压电振动元件保持在基板的第1主面上并使压电振动元件能够激励，导电性保持部件包括以导电性材料为主要成分的第1填料，和以绝缘性材料为主要成分并且杨氏模量的值比第1填料小的第2填料，在从基板的第1主面的法线方向观察的俯视图中，在比导电性保持部件的中央区域靠导电性保持部件的外周区域的部位，第2填料以密集状态配置。

根据上述结构，导电性保持部件中，靠外周区域的部位的杨氏模量的值比中央区域小。因此，形成为使导电性保持部件的外周区域(即，比较柔软的区域)与靠近压电振动元件的激励部分的部分(即，振动未充分衰减的区域)接合。因此，减少因导电性保持部件的接合而引起的对振动的影响，从而抑制压电振子的振子特性的劣化。

本发明的一方案所涉及的压电振子具备：压电振动元件；基板，其具有对置的第1和第2主面；以及导电性保持部件，其将压电振动元件能够激励地保持在基板的第1主面上，导电性保持部件包括以导电性材料为主要成分的第1填料、和以绝缘性材料为主要成分，并且杨氏模量的值比该第1填料小的第2填料，在从基板的第1主面的法线方向观察的俯视图中，在导电性保持部件的中央区域的第1填料的体积与第2填料的体积之比率H1比在导电性保持部件的外周区域的第1填料的体积与第2填料的体积之比率H2高。

根据上述结构，导电性保持部件中，靠外周区域的部位的杨氏模量的值比中央区域小。因此，形成为使导电性保持部件的外周区域(即，比较柔软的区域)与靠近压电振动元件的激励部分的部分(即，振动未充分衰减的区域)接合。因此，减少因导电性保持部件的接合而引起的对振动的影响。从而抑制压电振子的振子特性的劣化。

根据本发明，能够提供即便在使压电振子小型化的情况下，也抑制振子特性的劣化的压电振子。

附图说明

图1是本发明的一实施方式所涉及的压电振子的分解立体图。