[发明专利]制造用于安全装置的图像图案的方法在审

专利信息
申请号: 201780051397.9 申请日: 2017-05-17
公开(公告)号: CN109641477A 公开(公告)日: 2019-04-16
发明(设计)人: A·李斯特 申请(专利权)人: 德拉鲁国际有限公司
主分类号: B42D25/44 分类号: B42D25/44;B42D25/445;B42D25/373;B42D25/351;B42D25/342;B42D25/324;B42D25/29;B42D25/24
代理公司: 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 代理人: 关丽丽;郑建晖
地址: 英国*** 国省代码: 英国;GB
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摘要:
搜索关键词: 抗蚀剂层 突出部 金属化 衬底 第一金属层 抗蚀剂材料 浮雕结构 图案元件 图像图案 支撑件 蚀刻剂物质 安全装置 衬底材料 延伸 施加 第一表面 区域外部 相对移动 移动方向 保留 可溶 排出 移除 溶解 制造 承载 图案
【权利要求书】:

1.一种制造用于安全装置的图像图案的方法,所述方法包括:

(a)提供一个金属化的衬底,所述金属化的衬底包括一种衬底材料,在所述衬底材料的第一表面上具有第一金属层,所述第一金属层在第一蚀刻剂物质中可溶;

(b)将第一抗蚀剂层施加到所述第一金属层,所述第一抗蚀剂层包括一种抗蚀剂材料;

(c)使所述第一抗蚀剂层与一个浮雕结构接触,所述浮雕结构包括一个支撑件,在所述支撑件上承载一个或多个突出部,所述一个或多个突出部各自远离所述支撑件而延伸到一个远侧尖端,于是所述突出部中的至少一个延伸到所述第一抗蚀剂层中;

(d)当所述第一抗蚀剂层和所述浮雕结构接触时,控制所述金属化的衬底和/或所述浮雕结构,以实现在所述金属化的衬底和至少所述突出部中的至少一个突出部的尖端之间沿着一个移动方向的相对移动,使得延伸到所述第一抗蚀剂层中的所述突出部中的至少一个突出部将所述抗蚀剂材料的对应的至少一部分从所述金属化的衬底的对应的至少一个区域排出;

(e)使所述第一抗蚀剂层与所述浮雕结构分离,以使得从所述第一抗蚀剂层移除所述突出部中的至少一个突出部,留下位于所述至少一个区域外部保留在所述金属化的衬底上的抗蚀剂材料,从而形成具有存在所述抗蚀剂材料的一个或多个第一图案元件以及对应于所述至少一个区域且基本上不存在所述抗蚀剂材料的一个或多个第二图案元件的图案;以及

(f)将所述第一蚀刻剂物质施加到所述金属化的衬底,于是所述第一金属层的第二图案元件被溶解,所述第一金属层的保留的第一图案元件形成一个图像图案。

2.根据权利要求1所述的方法,其中所述抗蚀剂材料是可固化的抗蚀剂材料,优选地是辐射可固化的抗蚀剂材料或加热可固化的抗蚀剂材料。

3.根据权利要求2所述的方法,其中所述可固化的抗蚀剂材料包括可交联的聚合物,所述可交联的聚合物针对每个低聚物具有至少两个或三个官能团。

4.根据权利要求1或2所述的方法,还包括在步骤(d)和/或步骤(e)期间或之后以及在步骤(f)之前,固化位于第一区域外部且保留在所述金属化的衬底上的抗蚀剂材料。

5.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,其中在步骤(b)中,将所述第一抗蚀剂层施加至一厚度,该厚度小于或等于所述浮雕结构的至少一个突出部的高度。

6.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,其中在步骤(b)中,将所述第一抗蚀剂层施加到0.5微米和5微米之间的厚度、优选地1微米和3微米之间的厚度、最优选地1微米和2微米之间的厚度。

7.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,其中在步骤(b)中,当将抗蚀剂材料施加到所述金属化的衬底以形成所述抗蚀剂层时,所述抗蚀剂材料具有30mPaS至100mPaS的黏度(在室温下使用锥板流变仪测量的,或在按压时使用2号Zahn杯(24秒至40秒)测量的)。

8.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,其中在步骤(b)中,当将抗蚀剂材料施加到所述金属化的衬底以形成所述抗蚀剂层时,所述抗蚀剂材料具有第一黏度水平,且步骤(b)还包括随后将所述抗蚀剂材料的黏度增加到第二黏度水平。

9.根据权利要求8的方法,其中将所述抗蚀剂材料以在溶液中用溶剂稀释的形式施加到所述金属化的衬底,且随后通过干燥所述抗蚀剂材料以移除一些或全部的所述溶剂来增加黏度,优选地通过加热所述第一抗蚀剂层。

10.根据权利要求8所述的方法,其中在将抗蚀剂材料施加到所述金属化的衬底之前加热所述抗蚀剂材料,且随后通过冷却所述第一抗蚀剂层来增加黏度。

11.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,其中所述抗蚀剂材料是一种可固化的材料,所述方法还包括在步骤(b)之后和步骤(c)之前:

(b1)部分地预固化所述第一抗蚀剂层。

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