[发明专利]真空计

权利要求书

1.一种真空计，具有：

导入管；

隔膜，其因通过所述导入管所导入的被测定气体而移位；

压电元件，该压电元件与所述隔膜连接从而与所述隔膜一起进行移位；

内部结构体，其固定有所述隔膜的周缘，并与所述导入管连结；以及

气密容器，其气密性地包围所述导入管和所述内部结构体，

所述气密容器内被所述内部结构体、所述导入管和所述隔膜气密性地划分为在所述隔膜的一面侧导入所述被测定气体的压力导入室、和所述隔膜的另一面侧的基准压力室，

所述基准压力室被设定为比所述被测定气体的压力下限低的高真空，

所述导入管包含第1部分和第2部分，所述第1部分向所述气密容器的内侧突出，并与所述内部结构体连结，所述第2部分向所述气密容器的外侧突出，

其特征在于，

所述压电元件的一端与所述隔膜连接，所述压电元件的另一端与所述内部结构体连接，

所述第1部分在从与所述气密容器连接的第1端到与所述内部结构体连接的第2端的范围内被真空隔热。

2.根据权利要求1所述的真空计，其特征在于，

所述基准压力室被设定为所述被测定气体的压力下限的1/1000以下的高真空。

3.根据权利要求1或2所述的真空计，其特征在于，

所述第1部分和所述第2部分中的一方的导热率比所述第1部分和所述第2部分中的另一方小。

4.根据权利要求3所述的真空计，其特征在于，

所述导入管的所述第1部分的第1管容积为所述导入管的所述第2部分的第2管容积的1/2～1/6。

5.根据权利要求1或2所述的真空计，其特征在于，

所述第1部分和所述第2部分中的至少一方由具有2～10W/m·K的导热率的材质形成。

6.根据权利要求1或2所述的真空计，其特征在于，

所述内部结构体包含：

基端部，其固定有所述隔膜的周缘；

固定部，其固定有所述压电元件的所述另一端；以及

加强部，其从所述基端部起沿着所述压电元件的长度方向延伸至所述固定部，

在所述加强部的与所述长度方向垂直的横截面中，所述加强部遍及360°/N的范围而配置在配置有所述压电元件的区域的周围，1N≦2。

7.根据权利要求1或2所述的真空计，其特征在于，

所述内部结构体具有止动件，该止动件对所述隔膜向所述气密容器的内侧过度地移位进行限制。