[发明专利]微流体元件及其制造方法

权利要求书

1.一种微流体元件，其特征在于，包括：

一第一基板层，

一第二基板层，形成在所述第一基板层的至少一表面，及

多个换能器，形成在所述第一基板层的所述表面并内置于所述第二基板层内；

所述换能器包括一导电微流体通道。

2.根据权利要求1所述的微流体元件，其特征在于，

所述导电微流体通道包括一导电通道层，

所述导电通道层具有一导电物质，所述导电物质占据所述导电微流体通道的一部分或全部。

3.根据权利要求2所述的微流体元件，其特征在于，

所述导电通道层具有呈液态的所述导电物质，或具有含所述导电物质的一溶液、悬浮液或膏体。

4.根据权利要求2所述的微流体元件，其特征在于，

所述导电物质包括选自由金属颗粒、无机及高分子电解质、过渡金属系物质及导电碳物质构成的组中的一种以上：

所述金属颗粒是Ag、Pt、Au、Mg、Al、Zn、Fe、Cu、Ni、Pd；

所述过渡金属系物质包含选自由铟、锡、锌、镓、铈、镉、镁、铍、银、钼、钒、铜、铱、铑、钌、钨、钴、镍、锰、铝及镧所构成的组中的一种以上的导电氧化物或它们的合金；及

所述导电碳物质选自由碳纳米管、碳粉、石墨烯及石墨的碳物质所构成的组。

5.根据权利要求1所述的微流体元件，其特征在于，进一步包括：

一受控对象通道，所述受控对象通道形成在所述第一基板层上且内置于所述第二基板层内，

所述受控对象通道包括流动有受控对象流体的微流体通道。

6.根据权利要求1所述的微流体元件，其特征在于，

所述第一基板层是一压电体基板或包含一压电体涂层的一柔性基板，

所述压电体基板及所述压电体涂层包含选自由α-AlPO₄、α-SiO₂、LiTaO₃、LiNbO₃、Sr_xBa_yNb₂O₈、Pb₅-Ge₃O₁₁、Tb₂(MoO₄)₃、Li₂B₄O₇、Bi₁₂SiO₂₀、Bi₁₂GeO₂、PZT、钛酸钡、铁酸铋、氧化铂、ZnO、CdS、GaN、AlN、VDF、ZnMgO、InN、GeTe、ZnSnO₃、KNbO₃、NaNBO₃、P(VDF-TrFe)、P(VDFTeFE)、PZT-PVDF、PZT-硅橡胶、PZT-环氧基、PZT-发泡聚合物、PZT-发泡聚氨酯及PVDF所构成的组中的一种以上。

7.根据权利要求1所述的微流体元件，其特征在于，

所述第二基板层包括光固化性聚合物及/或热固性聚合物，

所述第二基板层是一透明聚合物基板。

8.根据权利要求1所述的微流体元件，其特征在于，

还包括用于向所述换能器输入一交流电压信号的一电压输入端子。

9.根据权利要求1所述的微流体元件，其特征在于，

所述换能器将所述导电微流体通道与所述第一基板层相互作用而施加的一电能转换为一声波，所述声波是一表面声波或体声波。

10.根据权利要求1所述的微流体元件，其特征在于，

所述微流体元件通过调节一导电物质的一浓度、粘性或注入量来控制相对于所施加的一电能的：一声波的转换比例、一声波的强度或一声波的波长。