[发明专利]用于测量试验对象的太赫兹测量装置和太赫兹测量方法

权利要求书

1.一种太赫兹测量装置(1)，用于通过运行时间测量在确定至少一个第一距离(d1、d2、d3、d4)的情况下来测量试验对象(2)，其中，所述太赫兹测量装置(1)具有：

太赫兹发射和接收单元(3)，用于发射太赫兹辐射(5)并且用于探测由试验对象(2)向所述太赫兹发射和接收单元(3)反射的第一太赫兹辐射(6a)，

评估单元(12)，用于确定太赫兹辐射的第一运行时间(Δt)并且由所确定的第一运行时间(Δt)确定试验对象(2)的至少一个第一距离(d1、d2、d3、d4)，

其特征在于，

设有至少一个被动的太赫兹接收单元(4)，所述至少一个被动的太赫兹接收单元的光轴相对于太赫兹发射和接收单元(3)的光轴位错或倾斜地设置并且探测由太赫兹发射和接收单元(3)发射的且在试验对象(2)上向所述至少一个被动的太赫兹接收单元(4)反射的第二太赫兹辐射(6b)，

设有数据连接(10)，用于借助于同步信号(S1)来同步太赫兹发射和接收单元(3)和所述至少一个被动的太赫兹接收单元(4)，

其中，评估单元(12)或所述被动的太赫兹接收单元(4)由反射的第二太赫兹辐射(6b)和同步信号(S1)确定第二运行时间(Δt3，Δt4)和第二距离，

其中，多个被动的太赫兹接收单元(4)围绕一个针对试验对象(2)的测量区域设置。

2.按照权利要求1所述的太赫兹测量装置(1)，其特征在于，所述评估单元(12)或所述被动的太赫兹接收单元(4)考虑存储的关于太赫兹发射和接收单元(3)和被动的太赫兹接收单元(4)的布置结构的几何数据或距离数据，以用于确定第二距离。

3.按照权利要求1或2所述的太赫兹测量装置(1)，其特征在于，所述多个被动的太赫兹接收单元(4)为了全面地测量试验对象(2)而围绕所述针对试验对象(2)的测量区域设置。

4.按照权利要求1或2所述的太赫兹测量装置(1)，其特征在于，所述太赫兹发射和接收单元(3)和所述多个被动的太赫兹接收单元(4)圆形地围绕对称轴(A)设置，并且所述太赫兹发射和接收单元的光轴和所述多个被动的太赫兹接收单元的光轴延伸通过对称轴(A)或在对称轴(A)中相交。

5.按照权利要求4所述的太赫兹测量装置(1)，其特征在于，所述太赫兹发射和接收单元(3)和所述多个被动的太赫兹接收单元(4)在形成半圆的情况下围绕对称轴(A)设置。

6.按照权利要求4所述的太赫兹测量装置(1)，其特征在于，所述太赫兹发射和接收单元的光轴和所述多个被动的太赫兹接收单元的光轴在共同的平面中延伸通过对称轴或在对称轴中相交。

7.按照权利要求1或2所述的太赫兹测量装置(1)，其特征在于，所述被动的太赫兹接收单元(4)接收不是在按照规定的分界面上反射的第二太赫兹辐射，并且评估单元(12)或所述被动的太赫兹接收单元在所述被动的太赫兹接收单元(4)的信号幅值(S4)中将不与按照规定的分界面对应的测量峰值确定为缺陷部位。

8.按照权利要求7所述的太赫兹测量装置(1)，其特征在于，所述评估单元(12)或所述被动的太赫兹接收单元确定所述缺陷部位的位置和/或形状和/或大小。

9.按照权利要求1或2所述的太赫兹测量装置(1)，其特征在于，所述数据连接(10)在所述太赫兹发射和接收单元(3)和所述被动的太赫兹接收单元(4)之间进行或从中央的评估单元(12)至所述太赫兹发射和接收单元(3)和所述被动的太赫兹接收单元(4)进行。

10.按照权利要求9所述的太赫兹测量装置(1)，其特征在于，所述数据连接(10)分别在两个相邻的单元之间进行。

11.按照权利要求10所述的太赫兹测量装置(1)，其特征在于，所述数据连接(10)作为总线系统分别在两个相邻的单元之间进行。