[发明专利]检查装置及检查方法

权利要求书

1.一种检查装置，其特征在于，

具有：

保持部，将表面包含被检查区域的对象物进行保持，所述被检查区域具有作为镜面处理的对象的第一区域、以及不作为镜面处理的对象的第二区域；

第一拍摄部，在从被保持在所述保持部的所述对象物观察时从第一方向向所述被检查区域照射光的状态下，从该第一方向拍摄所述被检查区域；

第二拍摄部，在从被保持在所述保持部的所述对象物观察时从第二方向向所述被检查区域照射光的状态下，从该第二方向拍摄所述被检查区域；以及

检查部，根据由所述第一拍摄部获得的第一拍摄图像来检查所述第一区域的形态，并且根据由所述第二拍摄部获得的第二拍摄图像来检查所述第二区域的形态，

所述保持部以成为所述第一区域的法线相比于所述第二方向更接近沿着所述第一方向的位置关系的方式，保持所述对象物。

2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述检查装置还具有存储部，所述存储部存储与所述第一拍摄图像对应并且在所述第一区域的形态上无异常的图像即第一参照图像、以及与所述第二拍摄图像对应并且在所述第二区域的形态上无异常的图像即第二参照图像，

所述检查部通过将所述第一拍摄图像与所述第一参照图像进行比较来检查所述第一区域的形态，并且通过将所述第二拍摄图像与所述第二参照图像进行比较来检查所述第二区域的形态。

3.如权利要求2所述的检查装置，其特征在于，

所述检查部通过仅对所述第一区域将所述第一拍摄图像与所述第一参照图像进行比较，来检查该第一区域的形态。

4.如权利要求2或3所述的检查装置，其特征在于，

所述检查部通过仅对所述第二区域将所述第二拍摄图像与所述第二参照图像进行比较，来检查该第二区域的形态。

5.如权利要求1～4中任一项所述的检查装置，其特征在于，

所述检查装置还具有旋转部，所述旋转部一边保持所述位置关系，一边使被保持在所述保持部的所述对象物绕旋转轴旋转。

6.如权利要求5所述的检查装置，其特征在于，

所述第一拍摄部通过针对多个旋转角度中的每个旋转角度拍摄所述被检查区域来获得多个所述第一拍摄图像，

所述检查部根据多个所述第一拍摄图像中的在所述第一区域内的亮度评价值最高的图像，检查所述第一区域的形态。

7.如权利要求5或6所述的检查装置，其特征在于，

所述第二拍摄部通过针对多个旋转角度中的每个旋转角度拍摄所述被检查区域来获得多个所述第二拍摄图像，

所述检查部根据多个所述第二拍摄图像，检查所述第二区域的形态。

8.如权利要求1～7中任一项所述的检查装置，其特征在于，

所述第一拍摄部具有在中心轴的周围配置的多个第一照相机、以及从多个所述第一照相机侧向所述被检查区域照射光的多个第一灯，

所述第一拍摄部通过由各第一照相机拍摄被各第一灯照射的各被检查区域来获得多个所述第一拍摄图像，

所述检查部根据多个所述第一拍摄图像中的在所述被检查区域内的亮度评价值最高的所述第一拍摄图像，检查所述第一区域的形态。

9.如权利要求1～8中任一项所述的检查装置，其特征在于，

所述第二拍摄部具有在中心轴的周围配置的多个第二照相机、以及从多个所述第二照相机侧向所述被检查区域照射光的多个第二灯，

所述第二拍摄部通过由各第二照相机拍摄被各第二灯照射的各被检查区域来获得多个所述第二拍摄图像，

所述检查部根据多个所述第二拍摄图像，检查所述第二区域的形态。

10.一种检查方法，其特征在于，

包括：

保持工序，将表面包含被检查区域的对象物进行保持，所述被检查区域具有作为镜面处理的对象的第一区域、以及不作为镜面处理的对象的第二区域；

第一拍摄工序，在从通过所述保持工序保持的所述对象物观察时从第一方向向所述被检查区域照射光的状态下，从该第一方向拍摄所述被检查区域；

第二拍摄工序，在从通过所述保持工序保持的所述对象物观察时从第二方向向所述被检查区域照射光的状态下，从该第二方向拍摄所述被检查区域；以及

检查工序，根据通过所述第一拍摄工序获得的第一拍摄图像来检查所述第一区域的形态，并且根据通过所述第二拍摄工序获得的所述第二拍摄图像来检查所述第二区域的形态，

在所述保持工序中，以成为所述第一区域的法线相比于所述第二方向更接近沿着所述第一方向的位置关系的方式，保持所述对象物。