[发明专利]用于将光纤阵列与激光阵列或光波导阵列对准和附接的方法和系统

权利要求书

1.一种系统，包括：

具有第一和第二端的第一基板，所述第一基板包括设置在凹槽中的光纤；

具有第一和第二端的第二基板，所述第二基板包括具有第一和第二端的第一波导，其中，所述第二基板的所述第一端靠近第一基板的所述第一端；以及

具有第一和第二端的第三基板，所述第三基板包括具有第一和第二端的第二波导，其中：

所述第二和第三基板被布置成所述第一和第二波导的所述第一端以间隔开的平行或基本平行的关系重叠；以及

所述第一和第二基板被布置成所述第二波导的所述第二端与所述光纤的端面光学对准。

2.如权利要求1所述的系统，其中：

所述第一波导在靠近其所述第一端处逐渐变细到一点；以及

所述第二波导在靠近其所述第一端处逐渐变细到一点。

3.如权利要求1所述的系统，其中，所述第一和第二波导的所述第一端重叠300微米±30微米。

4.如权利要求1所述的系统，其中，所述第一和第二波导的所重叠的第一端之间的中心距小于或等于2微米。

5.如权利要求1所述的系统，其中：

所述第一和第二波导被配置使得：传播到所述第一波导的第一端或第二波导的第一端的光形成渐逝光场，所述渐逝光场由所述第一或第二波导中的所述另一个的所述第一端接收；以及

由所述第一或第二波导中的所述另一个的所述第一端接收的所述光远离所述第一或第二波导中的所述另一个的第一端传播。

6.如权利要求1所述的系统，其中，所述第三基板覆盖所述第一基板的一部分和所述第二基板的一部分。

7.如权利要求1所述的系统，其中：

所述第一基板包括具有面的台阶，所述光纤的所述端面在所述面上暴露出来；以及

所述第三基板的所述第二端的至少一部分邻接所述第一基板的所述台阶的所述面。

8.如权利要求1所述的系统，其中所述凹槽是V形的。

9.如权利要求1所述的系统，其中：

所述第一基板的所述第一端包括互连节结；

所述第二基板的所述第一端包括互连节结；以及

所述第一基板的所述第一端上的所述互连节结和所述第二基板的所述第一端上的所述互连节结彼此配对。

10.如权利要求9所述的系统，其中，所述第一基板的所述第一端和所述第二基板的所述第一端上的所述互联节结通过以下方式配对：(a)其端面邻接、(b)以交叉的方式、(c)以摩擦配合方式、(d)以互锁方式，或(e)通过(a)-(d)的某种组合的方式。

11.如权利要求9所述的系统，其中，每个互连节结单独地与所对应的第一或第二基板的所述第一端的表面齐平或延伸超出所对应的第一或第二基板的所述第一端的表面。

12.如权利要求1所述的系统，其中，以间隔开的基本平行的关系重叠的所述第一和第二波导的所述第一端使其纵轴线对准±2°。

13.如权利要求1所述的系统，其中：

所述第一基板包括多个光纤，每个光纤被设置在单独的凹槽中；

所述第二基板包括多个第一波导；以及

所述第三基板包括多个第二波导。

14.如权利要求1所述的系统，其中，相邻的第二波导之间的间距朝向所述第三基板的所述第二端增加。

15.如权利要求1所述的系统，还包括在至少两个所述基板上配对对准特征。