[发明专利]闸阀

说明书

本发明的闸阀具备：阀箱，具有中空部和第一开口部及第二开口部，所述第一开口部及第二开口部隔着所述中空部彼此相对设置且成为连通的流道；中立阀体，配置在所述阀箱的所述中空部内且能关闭所述第一开口部；和旋转轴，作为位置切换部发挥功能且具有沿流道方向延伸的轴线，所述位置切换部在使所述中立阀体相对于所述第一开口部处于关闭状态的阀关闭位置与使所述中立阀体处于从所述第一开口部退避的开放状态的阀开放位置之间操作所述中立阀体。所述中立阀体具有连接于所述位置切换部的中立阀部和以能够改变所述流道方向上的位置的方式与所述中立阀部连接的可动阀部。所述可动阀部具备：第一可动阀部，设置于所述可动阀部的外周且设置有紧贴于所述第一开口部的周围的阀箱内表面上的密封部，并且以能够改变所述流道方向上的位置的方式与所述中立阀部连接；和第二可动阀部，相对于所述第一可动阀部能够沿所述流道方向滑动。本发明的闸阀具有内置于所述阀箱中的多个第一施力部、配设在所述第一可动阀部与所述第二可动阀部之间(内置于可动阀部)的第二施力部、以及第三施力部。所述第三施力部使所述第一可动阀部以能够改变所述流道方向上的位置的方式与所述中立阀部连接，并且朝向所述流道方向上的中央位置对所述第一可动阀部施力。多个所述第一施力部具有能够通过在所述流道方向上朝向所述第一开口部对所述第一可动阀部施力而将所述密封部紧贴在所述第一开口部的周围的阀箱内表面上的功能。所述第二施力部以能够调整所述第一可动阀部与所述第二可动阀部的在所述流道方向上的厚度尺寸的方式驱动。

技术领域

本发明涉及一种适于在使用阀体(阀片)开闭流道的操作基础上使阀体进行滑动操作的钟摆式或直线运动式等中的闸阀。特别是，本发明涉及一种如下的闸阀：该闸阀用于在真空装置等中将连接具有不同压力的两个空间的流道及连接进行不同工序的两个空间的流道阻断(关闭)，并且开放该阻断状态(将两个空间相连)。

本申请基于2016年10月4日在日本申请的专利申请2016-196454号要求优先权，并且在此援引其内容。

背景技术

在真空装置等中设置有闸阀，该闸阀用于将腔室与管道之间、管道与管道之间、或者管道与泵等之间等不同真空度的两个空间之间阻断，并且将被阻断的两个空间相连。作为这种闸阀，已知有各种形式的阀。

例如，已知有如下的结构：通过使阀片滑动而将阀片插入到流道的阀开闭位置，并且使该阀片工作以阻断流道(闭阀操作)，或者使上述阀片工作以连接流道(开阀操作)，进而通过使阀片滑动而使阀片从流道退避至阀箱内的退避位置。作为具有这种结构的阀，已知有钟摆式、直线运动式或门式等。

直线运动式闸阀具有在形成有构造流道的第一开口部及第二开口部的阀箱的中空部配置有固定设置在阀杆(支撑体)上的阀片的结构。该结构通过使上述阀杆沿其长度方向直线运动，将上述阀片插入到开口部(流道)的阀开闭位置，或者使上述阀片退避至未形成开口部的退避位置。

作为现有的上述直线运动式闸阀，已知有如下的闸阀：该闸阀具备：阀体，由利用皱纹管连接的第一阀片及第二阀片这两个阀片构成；致动器，在该两个阀片之间配置在阀片的中央部；以及阀箱，形成有构造流道的开口部。该闸阀通过致动器使第一阀片抵接并推压到阀箱的开口部周围的内表面而关闭流道，或者通过致动器使第一阀片远离上述阀箱的内表面而开放流道(例如参照专利文献1)。

另外，钟摆式闸阀具有如下的结构：即，在该钟摆式闸阀中配置有：阀箱，形成有构造流道的第一开口部及第二开口部且具有中空部；支撑体，在中空部中固定设置在旋转轴上，并且在平行于与旋转轴垂直的表面的方向上扩展；以及固定设置在该支撑体上的阀体(在密封环板设置于开口部的结构的情况下为阀片)。该闸阀通过使上述旋转轴旋转而使上述阀体转动，并且使上述阀体插入到开口部(流道)的阀开闭位置，或者使上述阀体退避至未形成开口部的退避位置。