[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于，具有：

激光振荡器，其将具有多个波长的激光射出；

衍射光学元件，其使所述激光穿过；

加工透镜，其对穿过所述衍射光学元件的激光进行聚光；

距离调整机构，其对所述衍射光学元件和所述加工透镜的距离进行变更；以及

角度调整机构，其对所述衍射光学元件的角度进行变更。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

通过所述角度调整机构对向所述加工透镜射入的所述激光有无分散进行切换。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

具有旋转机构，该旋转机构使所述衍射光学元件以向所述衍射光学元件的入射光的光轴为旋转轴而进行旋转。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的激光加工装置，其特征在于，

所述衍射光学元件是透过型衍射光学元件，

具有偏振控制机构，该偏振控制机构对射入至所述透过型衍射光学元件的所述激光的P偏振成分和S偏振成分的强度比进行调整。

5.一种激光加工装置，其特征在于，具有：

激光振荡器，其将具有多个波长的激光射出；

衍射光学元件，其具有同心圆状的光栅图案，所述激光射入至所述同心圆状的光栅图案的中心部分；

加工透镜，其对穿过所述衍射光学元件的激光进行聚光；

2轴角度调整机构，其能够使所述衍射光学元件以在与向所述衍射光学元件射入的所述激光的光轴垂直的平面内包含所述光轴而正交的2轴为中心进行旋转；以及

距离调整机构，其对所述衍射光学元件和所述加工透镜的距离进行变更。

6.一种激光加工装置，其特征在于，具有：

激光振荡器，其将具有多个波长的激光射出；

棱镜；

加工透镜，其对所述激光进行聚光；

距离调整机构，其对所述棱镜和所述加工透镜的距离进行变更；

切换机构，其将所述棱镜的位置移动而对所述激光射入的位置和所述激光没有射入的位置进行切换，对向所述加工透镜射入的所述激光有无分散进行切换；以及

旋转机构，其使所述棱镜以向所述棱镜的入射光的光轴为旋转轴而进行旋转。