[发明专利]化学镀铂液

说明书

本公开提供一种化学镀铂液。该化学镀铂液含有水溶性铂化合物、络合剂、还原剂以及卤化物离子供给剂，且还原剂是蚁酸。

技术领域

本公开涉及一种化学镀铂液与铂膜的形成方法。

背景技术

铂膜的化学性质极其稳定且难以氧化，耐热性与耐久性能良好。因此，铂膜被广泛地应用于汽车的火花塞、排气传感器等暴露在严酷环境下的部件中。而且，铂膜显示有良好的电导率，故可期待将铂膜用于电子部件中。

含有联氨作还原剂的化学镀铂液，作为用于形成铂膜的化学镀铂液已得到研究与探讨(例如，参照专利文献1与2等)。

专利文献1：日本公开专利公报特开2016-89190号公报

专利文献2：日本公开专利公报特开2016-89203号公报

发明内容

－发明要解决的技术问题－

然而，以联氨作还原剂的化学镀铂液存在稳定性不足的问题。而且，为得到具有实用性的析出速率，需要提高镀液的pH，这样基板等所使用的干膜蚀刻剂等就容易溶解。因此其结果是难以应用在电子部件中。

本公开的目的在于：能够实现稳定性较高的化学镀铂液。

－用于解决技术问题的技术方案－

本公开的化学镀铂液的一方面含有水溶性铂化合物、络合剂、还原剂以及卤化物离子供给剂，且还原剂是蚁酸。

在化学镀铂液的一方面中，所述卤化物离子供给剂与铂的摩尔比可以为10倍以上。

在化学镀铂液的一方面中，卤化物离子供给剂可以是碱金属的卤化物。

在化学镀铂液的一方面中，pH可以为9以下。

在本公开的铂膜形成方法的一方面中，将待镀物浸渍于本公开的化学镀铂液中而在待镀物上形成铂膜。

－发明的效果－

根据本公开的化学镀铂液，能够实现稳定性较高的化学镀铂液。

具体实施方式

本实施方式的化学镀铂液含有水溶性铂化合物、络合剂、还原剂以及卤化物离子供给剂，且还原剂是蚁酸。与使用联氨和硼化合物等一般的还原剂的情况相比，用蚁酸作还原剂能够得到稳定的镀液。蚁酸也包括处于钠盐或钾盐等盐状态的蚁酸盐。

与联氨等相比，蚁酸难以发生还原反应，仅单纯地用蚁酸取代化学镀铂液中的联氨，几乎不会发生析出反应。但是，本实施方式的化学镀铂液含有卤化物离子供给剂。卤化物离子供给剂具有促进铂的析出反应的反应促进剂的功能，在还原剂是蚁酸的情况下，也能够充分地发生析出反应。而且，卤化物离子还具有提高镀液稳定性的效果，能够实现更稳定的化学镀铂液。

卤化物离子供给剂只要是含有卤化物离子的化合物即可。例如，能够使用氯化钠、氯化钾、碘化钠、碘化钾、溴化钠以及溴化钾等碱金属的卤化物。其中，从易于处理的观点出发，优选氯化钠与氯化钾。

从促进析出反应的观点出发，优选，以摩尔比计卤化物离子供给剂的添加量为镀液中所含有的铂量的10倍以上，更优选为15倍以上，尤其优选为20倍以上。为避免卤化物对薄膜外观的影响，优选，以摩尔比计卤化物离子供给剂的添加量为镀液中所含有的铂量的500倍以下，更优选为400倍以下。

水溶性铂化合物可以使用一般的铂盐。例如可以使用二硝基二胺铂(Dinitrodiammine platinum)、氯铂酸盐(chloroplatinic acid salts)、四胺铂盐(Tetraammine platinum salt)以及六胺铂盐(Hexaammine platinum salt)等。上述金属化合物既可以单独使用，又可以两种以上混合使用。