[发明专利]往复泵

说明书

提供一种能够防止因压力计的安装结构导致在泵室内产生积液的往复泵。往复泵(1)具有：壳体(2)，具有吸入口以及喷出口；往复移动构件(3)，配置为在所述壳体内形成泵室(28)，并且，所述往复移动构件(3)设置为能够往复移动，以便能够经由吸入口(15)将流体吸入所述泵室且从所述泵室经由喷出口(16)喷出流入所述泵室的流体；驱动装置(4)，能够使所述往复移动构件往复移动；以及压力计(6)，具有受压部(46)且经由该受压部检测流入所述泵室的流体的压力，所述压力计与该往复移动构件连接，以便能通过所述驱动装置与所述往复移动构件一体地往复移动。

技术领域

本发明涉及一种往复泵。

背景技术

以往，已知用于输送包含药液等液体的流体的往复泵。作为上述往复泵，例如存在像专利文献1中记载的那样的隔膜泵。在制造半导体、液晶、有机电致发光(Electro-Luminescence，EL)、太阳能电池、LED时经常使用这种隔膜泵。

上述往复泵具有壳体、往复移动构件、驱动装置以及压力计。上述壳体具有吸入口以及喷出口。上述往复移动构件由滚动隔膜等构成，且以在上述壳体内形成泵室的方式配置。

另外，上述往复移动构件设置为能够在上述壳体内以能够经由上述吸入口将流体吸入上述泵室且从上述泵室经由上述喷出口喷出流入上述泵室的流体的方式往复移动。

上述驱动装置配置为能够使上述可动构件往复移动。上述压力计具有受压部，通过该受压部检测流入上述泵室的流体的压力。上述压力计安装于所述壳体中。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-23935号公报。

发明内容

发明要解决的问题

如图8所示，在以往的往复泵中，作为压力计206，采用主体螺纹旋入式的压力计。另外，在壳体202的壁部211设置有与泵室228连通的上述压力计206用的安装孔233，将上述压力计206螺纹旋入该安装孔233，从而将上述压力计206安装于上述壳体202的壁部211。

在安装时，虽然上述压力计206的受压部246以面向上述泵室228的方式配置于周边区域，但是，在该受压部246与上述泵室228之间出现由上述安装孔233的台阶或剩余的螺纹部分等构成的空间238，当流体流入上述泵室228时，在与上述泵室228连通的上述空间238、上述安装孔233内产生积液。

如上所述，在产生积液的情况下，在该积液中容易产生颗粒。因此，上述颗粒混入到流入上述泵室228的流体中，由此，有可能会使上述往复泵经由喷出口从上述泵室228喷出的流体的纯度降低。

本发明是鉴于上述情况而提出的，其目的在于，提供一种能够防止因压力计的安装结构导致在泵室内产生积液的往复泵。

解决问题的技术手段

本发明是一种往复泵，用于输送流体，其中，具有：

壳体，具有吸入口以及喷出口；

往复移动构件，配置为在所述壳体内形成泵室，并且，所述往复移动构件设置为能够往复移动，以便能够经由所述吸入口将流体吸入所述泵室且从所述泵室经由所述喷出口喷出流入所述泵室的流体；

驱动装置，能够使所述往复移动构件往复移动；以及

压力计，具有受压部且经由该受压部检测流入所述泵室的流体的压力，所述压力计与该往复移动构件连接，以便能通过所述驱动装置与所述往复移动构件一体地往复移动。