[发明专利]固态检验设备及使用方法有效

专利信息
申请号: 201780039055.5 申请日: 2017-12-11
公开(公告)号: CN109313136B 公开(公告)日: 2020-02-28
发明(设计)人: 约翰·格哈特·厄尼;约瑟夫·弗朗西斯·平托;M·谢恩·鲍恩;迈克尔·S·克雷格;亚瑟·皮泰拉;巴拉·穆拉利·K·文卡特桑;大军·A·袁 申请(专利权)人: 伊鲁米那股份有限公司
主分类号: G01N21/64 分类号: G01N21/64;G01N21/95
代理公司: 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 代理人: 胡秋玲;郑霞
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 固态 检验 设备 使用方法
【权利要求书】:

1.一种检验设备,其包含:

光学目标,其包括固态主体材料及嵌入于所述固态主体材料中的荧光材料,所述固态主体材料具有预定声子能量HOSTPE

本体,其具有用于接纳所述光学目标的凹穴,其中所述本体包括位于顶表面处且包围所述凹穴的插入区;及

透明层,其安装于所述插入区中且定位于所述光学目标上方;

其中所述本体包括至少部分包围所述凹穴的通道,所述通道用于接纳粘合剂以接合至光栅层,其中所述通道包括围绕所述通道分布的一系列减压凹穴,所述减压凹穴用以减轻在固化过程期间由所述粘合剂诱发于所述光栅层上的应力;

其中所述荧光材料显现选择基态能级和与所述选择基态能级分开对应于所关注的荧光发射波长的第一能隙的目标激发能级,所述荧光材料具有相对于所述目标激发能级的下一低位能级,所述下一低位能级在所述目标激发能级下方隔开第二能隙FMEG2,其中FMEG2/HOSTPE的比率为三或大于三。

2.如权利要求1所述的设备,其中所述FMEG2/HOSTPE的所述比率等于四或十或介于四与十之间。

3.如权利要求1所述的设备,其中所述固态主体材料包括以下各项中的至少一者:玻璃、非晶态聚合物、结晶材料、半结晶聚合物、金属玻璃或陶瓷。

4.如权利要求1所述的设备,其中所述荧光材料表示稀土元素或过渡金属元素中的至少一者的离子。

5.如权利要求1所述的设备,其中所述固态主体材料具有小于或等于580cm-1的最大声子能量。

6.如权利要求1所述的设备,其中所关注的所述荧光发射波长具有约1000nm或低于1000nm的中心波长。

7.如权利要求1所述的设备,其中所述本体还包括位于所述凹穴下方的扩散井,所述扩散井用以接收穿过所述光学目标的激发光,所述扩散井包括具有表面光洁度的井底部,所述表面光洁度显现不大于20.0%的反射率。

8.如权利要求1所述的设备,其还包含形成于所述透明层或所述光学目标中的至少一者的表面上的微结构以形成光栅层。

9.如权利要求1所述的设备,其还包含形成于所述透明层或所述光学目标中的至少一者的表面上的抗反射涂层。

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