[发明专利]具有织构化氧化铝层的切削刀具有效
申请号: | 201780037634.6 | 申请日: | 2017-06-20 |
公开(公告)号: | CN109312456B | 公开(公告)日: | 2020-12-25 |
发明(设计)人: | 德克·施廷斯;托斯滕·曼斯 | 申请(专利权)人: | 瓦尔特公开股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/02 | 分类号: | C23C16/02;C23C16/40 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 蔡石蒙;车文 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 织构化 氧化铝 切削 刀具 | ||
1.涂层切削刀具,其包括硬质合金、陶瓷或钢基底以及通过化学汽相沉积(CVD)沉积并具有4至25μm的总厚度的多层耐磨涂层,其中所述多层耐磨涂层包括:
TiAlCN层(a),所述TiAlCN层(a)由通过CVD沉积的通式Ti1-xAlxCyNz表示,其中0.2≤x≤0.97,0≤y≤0.25和0.7≤z≤1.15,以及
κ氧化铝的κ-Al2O3层(b),所述κ氧化铝的κ-Al2O3层(b)通过CVD紧挨在所述TiAlCN层(a)的顶部沉积,并且
其中所述Ti1-xAlxCyNz层(a)具有整体纤维织构,其中{111}面优选平行于所述基底的表面生长,所述纤维织构的特征在于:通过X射线衍射或电子背散射衍射在0°≤α≤80°的角度范围内测得的所述Ti1-xAlxCyNz层(a)的{111}极图的强度最大值在与样品法线成≤10°的倾斜角度内,并且在与所述样品法线成≤20°的倾斜角度内具有在0°≤α≤60°的角度范围内测得的≥50%的相对强度,并且
其中所述κ-Al2O3层(b)具有整体纤维织构,其中{002}面优选平行于所述基底的表面生长,所述纤维织构的特征在于:通过X射线衍射或电子背散射衍射在0°≤α≤80°的角度范围内测得的所述κ-Al2O3层(b)的{002}极图的强度最大值在与所述样品法线成≤10°的倾斜角度内,并且在与所述样品法线成≤20°的倾斜角度内具有在0°≤α≤80°的角度范围内测得的≥50%的相对强度。
2.根据权利要求1所述的涂层切削刀具,其中所述陶瓷包括金属陶瓷或立方氮化硼。
3.根据权利要求1或2所述的涂层切削刀具,其中所述Ti1-xAlxCyNz层(a)的所述纤维织构的特征在于,通过X射线衍射或电子背向散射衍射测得的所述Ti1-xAlxCyNz层(a)的所述{111}极图,在与所述样品法线的倾斜角度≤5°的范围内具有最大强度。
4.根据权利要求1或2所述的涂层切削刀具,其中所述κ-Al2O3层(b)的所述纤维织构的特征在于,通过X射线衍射或电子背向散射衍射测得的所述κ-Al2O3层(b)的{002}极图,在与所述样品法线的倾斜角度≤5°范围内具有最大强度。
5.根据权利要求1或2所述的涂层切削刀具,其中,在距离所述TiAlCN层(a)和所述κ-Al2O3层(b)的交界面30nm的距离内,所述TiAlCN层(a)的化学成分为Ti1-uAluCvNw,所述化学成分Ti1-uAluCvNw的Ti含量高于由Ti1-xAlxCyNz表示的所述TiAlCN层(a)的平均成分,其特征在于,差值(x-u)≥0.04,并且其中0.16≤u≤0.93、0≤v≤0.25且0.7≤w≤1.15。
6.根据前述权利要求5所述的涂层切削刀具,其中所述差值(x-u)≥0.06。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的