[发明专利]研削液有效
| 申请号： | 201780033332.1 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN109312212B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 井上裕昭;竹村幸二;笹岛启佑;西藤和夫;田浦歳和 | 申请（专利权）人： | 创技股份有限公司;阪东化学株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 日本神奈川*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研削液 | ||
【权利要求书】：
1.一种研削液，其用于基板材料的平面研削加工，且
含有醇系溶媒及醚系溶媒，
所述研削液的所有溶媒中的所述醇系溶媒及所述醚系溶媒的合计含量为95质量％以上、100质量％以下，
25℃下的所述所有溶媒的粘度为7mPa·s以上、15mPa·s以下，
25℃下的所述醚系溶媒的粘度为3mPa·s以上、10mPa·s以下，
20℃下的所述所有溶媒的密度为0.7g/cm3以上、1.1g/cm3以下，
20℃下的所述醚系溶媒的密度为1.1g/cm3以下，
所述醚系溶媒相对于所述醇系溶媒的质量比为1倍以上、5倍以下。
2.根据权利要求1所述的研削液，其中，
25℃下的所述醚系溶媒的粘度低于所述醇系溶媒的粘度，
所述醚系溶媒与所述醇系溶媒的25℃下的粘度差为15mPa·s以上、20mPa·s以下。
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