[发明专利]用于在太阳能电池上图案化特征的三层半导体堆叠

说明书

本发明描述了用于在太阳能电池上图案化特征的三层半导体堆叠以及所得到的太阳能电池。在一个实例中，太阳能电池包括基板。半导体结构设置于基板上方。半导体结构包括直接设置于第一半导体层上的P型半导体层。第三半导体层直接设置于P型半导体层上。第三半导体层的最外侧边缘自第一半导体层的最外侧边缘横向凹入一定宽度。P型半导体层的最外侧边缘自第三半导体层的最外侧边缘倾斜至第三半导体层的最外侧边缘。导电触点结构电连接至半导体结构。

技术领域

本公开的实施方案属于可再生能源领域，并且具体地讲，涉及制造太阳能电池的方法以及所得的太阳能电池。

背景技术

光伏电池(常被称为太阳能电池)是熟知的用于将太阳辐射直接转换为电能的装置。一般来讲，使用半导体加工技术在半导体基板的表面附近形成p-n结，从而在半导体晶片或基板上制造太阳能电池。照射在基板表面上并进入基板内的太阳辐射在基板块体中形成电子和空穴对。所述电子和空穴对迁移至基板中的p掺杂区和n掺杂区，从而在掺杂区之间产生电压差。将掺杂区连接至太阳能电池上的导电区，以将电流从电池引导至与其耦接的外部电路。

效率是太阳能电池的重要特性，因其直接与太阳能电池发电能力有关。同样，制备太阳能电池的效率直接与此类太阳能电池的成本效益有关。因此，提高太阳能电池效率的技术或提高制造太阳能电池效率的技术是普遍需要的。本公开的一些实施方案允许通过提供制造太阳能电池结构的新工艺而提高太阳能电池的制造效率。本公开的一些实施方案允许通过提供新型太阳能电池结构来提高太阳能电池效率。

附图说明

图1A示出了具有单个半导体层发射极区域的太阳能电池的剖视图。

图1B示出了具有用于发射极区域的两个半导体层堆叠的太阳能电池的剖视图。

图1C示出了根据本公开的实施方案具有用于发射极区域的三个半导体层堆叠的太阳能电池的剖视图。

图2为根据本公开的实施方案的流程图，该流程图列出制造太阳能电池的一种方法中的操作。

图3A-3G和图3G'示出了根据本公开的实施方案的太阳能电池制造中的不同阶段的剖视图，这些阶段对应于图2的流程图。

图4示出了根据本公开的实施方案具有结构上区分开的半导体区域的背接触太阳能电池的一部分的剖视图。

图5A-5C示出了根据本公开的实施方案制造太阳能电池的方法中的各种处理操作的剖视图。

具体实施方式

以下具体实施方式本质上只是例证性的，并非意图限制所述主题的实施方案或此类实施方案的应用和用途。如本文所用，词语“示例性”意指“用作示例、实例或举例说明”。本文描述为示例性的任何实施方式未必理解为相比其它实施方式是优选的或有利的。此外，并不意图受前述技术领域、背景技术、发明内容或以下具体实施方式中提出的任何明示或暗示的理论的约束。

本说明书包括提及“一个实施方案”或“某个实施方案”。短语“在一个实施方案中”或“在某个实施方案中”的出现不一定是指同一实施方案。特定的特征、结构或特性可以任何与本公开一致的合适方式加以组合。

术语。以下段落提供存在于本公开(包括所附权利要求书)中术语的定义和/或语境：

“包括”。该术语是开放式的。如在所附权利要求书中所用，该术语并不排除其它结构或步骤。

“配置为”。各个单元或部件可被描述或声明成“配置为”执行一项或多项任务。在此类语境下，“配置为”用于通过指示所述单元/部件包括在操作期间执行一项或多项那些任务的结构而暗示结构。因此，可以说是将所述单元/部件配置成即使当指定的单元/部件目前不在操作(例如，未开启/激活)时也可执行任务。详述某一单元/电路/部件“配置为”执行一项或多项任务明确地意在对该单元/部件而言不援用35U.S.C.§112第六段。