[发明专利]高温隔绝系统在审
| 申请号： | 201780031624.1 | 申请日： | 2017-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN109311765A | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 贝恩德·克林帕斯;彼得·马伦;迈克尔·马克;伯恩哈德·瓦伦蒂尼 | 申请（专利权）人： | 普兰西股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/48 | 分类号： | C04B35/48;C21D9/00;F27B1/14;F27D1/02 |
| 代理公司： | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人： | 田欣欣;段晓玲 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 隔绝层 隔绝系统 边框 屏蔽方向 绝缘层 难熔金属 碳基材料 高温炉 热隔绝 叠置 包围 延伸 | ||
1.一种用于热隔绝高温炉(3)的处理室(2)的高温隔绝系统(1)，该高温隔绝系统具有至少两个在屏蔽方向(A)上叠置的隔绝层(4,5)，所述绝缘层具有：
-基于难熔金属的第一隔绝层(4)；
-由碳基材料制成的第二隔绝层(5)，该第二隔绝层相对于第一隔绝层(4)被布置在远离处理室(2)的方向上；
其特征在于，
第一隔绝层(4)延伸到边框(6)中，该边框在屏蔽方向(A)上至少部分地包围第二隔绝层(5)。
2.根据权利要求1所述的高温隔绝系统(1)，其特征在于，边框(6)由第一隔绝层(4)形成。
3.根据权利要求1所述的高温隔绝系统(1)，其特征在于，边框(6)与第一隔绝层(4)是分开的。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的高温隔绝系统(1)，其特征在于，边框(6)被构建成环形的。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的高温隔绝系统(1)，其特征在于，边框(6)覆盖第二隔绝层(5)的至少一个端面的75％以上。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的高温隔绝系统(1)，其特征在于，
边框(6)平面地覆盖第二隔绝层(5)的至少一个端面。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的高温隔绝系统(1)，其特征在于，第一隔绝层(4)由金属片形成。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的高温隔绝系统(1)，其特征在于，第二隔绝层(5)由一个或多个石墨板形成。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的高温隔绝系统(1)，其特征在于，一个或多个隔绝层(7)被布置在在第一隔绝层(4)与第二隔绝层(5)之间和/或在第一隔绝层(4)与处理室(2)之间。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的高温隔绝系统(1)，其特征在于，相反于屏蔽方向(A)直接邻接第二隔绝层(5)的隔绝层(4,7)与第二隔绝层(5)间隔。
11.根据权利要求10所述的高温隔绝系统(1)，其特征在于，相反于屏蔽方向直接邻接第二隔绝层(5)的隔绝层(4,7)通过间隔件(8)与第二隔绝层(5)间隔。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的高温隔绝系统(1)，其特征在于，由金属或碳基材料制成的覆盖层(9)被构建在第二隔绝层(5)远离处理室(2)的一侧上。
13.根据权利要求1至12中任一项所述的高温隔绝系统(1)，其特征在于，边框(6)和/或覆盖层(9)在第二隔绝层(5)远离处理室(2)的一侧上具有至少一个开口(10)。
14.根据权利要求13所述的高温隔绝系统(1)，其特征在于，开口(10)被构建在高温隔绝系统(1)的安装位置上的上部和/或屏蔽方向(A)外侧的位置上。
15.根据权利要求1至14中任一项所述的高温隔绝系统(1)，其特征在于，高温隔绝系统(1)以封闭的中空圆柱体或多棱柱体的形式包围处理室(2)。
16.一种具有根据权利要求1至15中任一项所述的高温隔绝系统(1)的高温炉(3)。
17.根据权利要求16所述的高温炉(3)，其特征在于，至少一个孔(16)被设置在高温炉(3)的外壁(12)上，该孔(16)可与真空泵(14)连接，且该孔(16)被布置靠近开口(10)。
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