[发明专利]用于合成氧化锌(ZnO)的方法和/或系统

说明书

简要地描述了用于合成氧化锌的系统和/或方法的实施例，包含腔室外壳、晶片衬底固持器、流体处理系统和用于实施的序列。所述腔室外壳具有类圆柱形形状和大小被设定为收纳和包封所述晶片衬底固持器的腔，加热氧化锌形成生长溶液。

相关申请

本PCT申请主张以下的权益和优先权：于2016年4月14日提交的题为“METHOD AND/OR SYSTEM FOR SYNTHESIS OF ZINC OXIDE(ZnO)(用于合成氧化锌(ZnO)的方法和/或系统)”的美国非临时专利申请序列号15/099,573；于2016年4月14日提交的题为“METHODAND/OR SYSTEM FOR SYNTHESIS OF ZINC OXIDE(ZnO)(用于合成氧化锌(ZnO)的方法和/或系统)”的美国非临时专利申请序列号15/099,575；于2016年4月14日提交的题为“METHODAND/OR SYSTEM FOR SYNTHESIS OF ZINC OXIDE(ZnO)(用于合成氧化锌(ZnO)的方法和/或系统)”的美国非临时专利申请序列号15/099,580，所述美国非临时专利申请通过引用以其全文结合在本文中。

技术领域

本公开涉及氧化锌(ZnO)的合成，如经由生长和/或沉积工艺。

背景技术

在实验室中，ZnO可以如经由涉及相对低温水溶液来合成。合成ZnO的能力可以是有用的，如作为一个非限制性实例用于制造氮化镓(GaN)型发光二极管(LED)的透明导电接触。然而，用在工业情形下如用于更高批量生产的更经济的合成工艺仍有待开发。

附图说明

本说明书的结论部分中特别指出并明确主张了所主张主题。然而，关于操作组织和/或方法以及其目标、特征和/或优点，在与附图一起阅读时可以通过参考下面的详细描述来最佳地理解，在附图中：

图1是腔室外壳和晶片衬底固持器的实施例的侧视图图示；

图2是图1的实施例的等距视图图示；

图3是包含腔室外壳的能够用于合成氧化锌的流体处理系统(FHS)的实施例的示意图；

图4是高位示出用于合成氧化锌的工艺的实施例的流程图；

图5到13是更加详细地示出图4的实施例的特定操作的特定实施例的流程图；

图14是示出如可以用于控制系统如以便引导用于合成氧化锌的工艺的实施例的计算装置的实施例的示意图。

下面的详细描述中参考了形成其一部分的附图，其中自始至终相似标号可以指代相应和/或类似的相似部分。应了解，如为了说明的简明和/或清楚，附图不一定按比例绘制。例如，一些方面的尺寸可能相对于其它方面被放大。进一步地，应理解，可以利用其它实施例。此外，可以在不脱离所主张主题的情况下做出结构和/或其它改变。贯穿本说明书，提及“所主张主题”是指旨在一或多个权利要求或其任何部分所涵盖的主题，并且不一定旨在是指完整的权利要求组、权利要求组的特定组合(例如，方法权利要求书、设备权利要求书等等)或特定权利要求。还应注意，例如，如上、下、顶部、底部等等方向和/或参考可以用于促进讨论附图并且不旨在限制所主张主题的应用。因此，下面的详细说明不应被视为限制所主张主题和/或等同物。

具体实施方式