[发明专利]进口组件及其使用方法

说明书

公开了一种用于燃烧器的进口组件和方法。用于燃烧器的进口组件包括：进口喷嘴，其限定进口孔口，该进口孔口能够与提供流出气体流以用于通过燃烧器处理的进口导管联接、非圆形出口孔口、喷嘴内孔，其在进口孔口和出口孔口之间沿着纵向轴线延伸以用于将流出气体流从进口孔口输送至出口孔口以递送至燃烧器的燃烧室，喷嘴内孔具有从进口孔口延伸的进口部分和延伸至非圆形出口孔口的出口部分、联接进口部分与出口部分的挡板，挡板限定定位在喷嘴内孔内的挡板孔口，挡板孔口与出口部分的邻近挡板的横截面面积相比具有减小的横截面面积，以及第二气体流喷嘴，其能够与提供第二气体流的第二气体流导管联接，第二气体流喷嘴被定位成使第二气体流与喷嘴内孔内的流出气体流混合。以这种方式，非圆形出口孔口将与第二气体混合的非圆形流出气体流流动提供到燃烧室中。非圆形流出气体流动使与第二气体混合的更大体积的流出气体流能够被引入到燃烧室中，同时仍然实现或超过所要求的消减水平。这是因为，与等效的圆形流出气体流的扩散和反应需要沿着其发生的距离相比，非圆形流出气体流提供扩散和反应需要沿着其发生的减小的距离。因此，与等效的圆形流出气体流和第二气体流混合物的体积相比，能够消减增加体积的流出气体流。

技术领域

本发明涉及用于燃烧器的进口组件和方法。

技术背景

辐射式燃烧器是已知的且通常用于处理来自在例如半导体或平板显示器制造业中使用的制造过程工具的流出气体流。在这样的制造期间，在从过程工具泵送的流出气体流中存在残留的全氟化合物（PFC）和其他化合物。PFC难以从流出气体移除，且不希望其释放到环境中，因为已知其具有相对高的温室活性。

已知的辐射式燃烧器使用燃烧来从流出气体流移除PFC和其他化合物。通常，流出气体流是含有PFC和其他化合物的氮气流。燃料气体与流出气体流混合，且该气体流混合物被输送到由有小孔的气体燃烧器的离开表面侧向环绕的燃烧室。燃料气体和空气被同时供应到有小孔的燃烧器，以影响在离开表面处的无焰燃烧，其中，传递通过有小孔的燃烧器的空气量不仅足以消耗供应至燃烧器的燃料气体，而且还能消耗在喷射到燃烧室中的气体流混合物中的所有易燃物。

在流出气体流中存在的化合物的范围和该流出气体流的流动特性能够随着过程工具的不同而变化，且因此，燃料气体和空气连同需要被引入到辐射式燃烧器中的其他气体或流体的范围也将变化。

尽管存在用于处理流出气体流的技术，但是其各自具有其自己的缺点。因此，期望提供用于处理流出气体流的改善的技术。

发明内容

根据第一方面，提供用于燃烧器的进口组件，进口组件包括：进口喷嘴，其限定：能够与提供流出气体流以通过燃烧器处理的进口导管联接的进口孔口；非圆形出口孔口；喷嘴内孔，其在进口孔口和出口孔口之间沿着纵向轴线延伸以用于将流出气体流从进口孔口输送至出口孔口以递送至燃烧器的燃烧室，喷嘴内孔具有从进口孔口延伸的进口部分和延伸至非圆形出口孔口的出口部分；联接进口部分与出口部分的挡板，挡板限定定位在喷嘴内孔内的挡板孔口，挡板孔口相比于邻近挡板的出口部分的横截面面积具有减小的横截面面积；以及第二气体流喷嘴，其能够与提供第二气体流的第二气体流导管联接，第二气体流喷嘴定位成使第二气体流与喷嘴内孔内的流出气体流混合。