[发明专利]太阳能电池的制造方法

权利要求书

1.一种太阳能电池的制造方法，其为在硅基板表面形成微小凹凸的太阳能电池的制造方法，其特征在于，包括以下工序：

附着工序，将所述硅基板浸渍在第一水溶液中，以将银附着到所述硅基板表面上，其中所述第一水溶液含有氢氟酸和硝酸银，硝酸银的摩尔浓度为9×10^-5mol/L以上且1×10^-3mol/L以下的范围内；以及

第一蚀刻工序，将经过所述附着工序的所述硅基板浸渍在含有氢氟酸和过氧化氢的第二水溶液中，通过所述银的催化反应对所述硅基板表面进行蚀刻。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，

包括第二蚀刻工序，对经过所述第一蚀刻工序的所述硅基板浸渍于在水中含有氢氟酸和硝酸的第三水溶液中以进一步进行蚀刻。

3.根据权利要求1或2所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，

所述第一水溶液中，氟化氢的摩尔浓度为0.1mol/L以上且10mol/L以下的范围内。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，

所述第二水溶液中过氧化氢的摩尔浓度相对于氟化氢的摩尔浓度为10％以上且25％以下。

5.根据权利要求2所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，

包括污渍去除工序，在所述污渍去除工序中将经过所述第二蚀刻工序的上述硅基板浸渍在碱性药液中。