[发明专利]复制原盘的制造方法和被形成体的制造方法

说明书

本发明的复制原盘(10)具备基材层(11)和形成在基材层(11)上且具有微细凹凸图案的表面形状体(12)，表面形状体(12)的软化温度比基材层(11)的软化温度高。

相关申请的交叉引用

本申请主张2016年5月9日在日本提出的特愿2016-094103和2016年8月23日在日本提出的特愿2016-162922的优先权，在此为了参照而援引在先申请的所有公开。

技术领域

本发明涉及复制原盘的制造方法和被形成体的制造方法。

背景技术

作为微细加工技术之一，有通过准备在表面形成了微细的凹凸图案(微细凹凸图案)的原盘，将原盘的微细凹凸图案压抵到树脂片等，从而向树脂片转印原盘的微细凹凸图案的压印技术。压印技术例如在向智能手机、平板终端等显示器面板上形成用于防止反射的微细凹凸结构等时使用。

以往，通过压印形成微细结构体的被形成体是大致平面的显示器面板等。然而，近年来，要求向具有立体形状的显示面板、照相机等的透镜面、汽车的各种计量仪表的面板表面这样的立体的被形成体形成微细结构体。

在压印中，通常准备与形成于被形成体的微细结构体对应的具有微细凹凸图案的原盘(主模)。然后，制作转印了主模的微细凹凸图案的原盘(复制原盘)，使用该复制原盘进行微细凹凸图案向被形成体的转印。

在专利文献1中公开了如下技术：通过向环烯烃共聚物(COC)等柔性聚合物箔(膜)转印主模的微细凹凸图案，从而制作聚合物印模(复制原盘)，使用聚合物印模，将微细凹凸图案转印于被形成体。由于聚合物印模由柔性聚合物箔形成而具有柔性，所以通过利用加热使膜软化，将液体压力施加于聚合物印模，从而能够使聚合物印模随着立体的被形成体的形状而变形。通过使随着被形成体的形状而变形的聚合物印模与涂布在被形成体上的光固化性树脂密合，向光固化性树脂照射光而使其固化，从而能够在被形成体上形成微细结构体。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5276436号

发明内容

技术问题

在专利文献1中，通过向柔性聚合物箔转印主模的微细凹凸图案来制作聚合物印模。即，专利文献1中公开的聚合物印模(复制原盘)是由COC等柔性聚合物构成的单层的膜。因此，在为了使聚合物印模随着被形成体的形状变形而将聚合物印模加热时，聚合物印模的凹凸部分也软化，有时导致微细凹凸图案的形状溃散。如果发生这样的复制原盘的微细凹凸图案的形状的溃散，则难以转印与主模的微细凹凸图案对应的精度高的微细凹凸图案。

鉴于如上所述的问题点而做出的本发明的目的在于，提供一种能够防止复制原盘中的微细凹凸图案的溃散，并且能够抑制转印的精度劣化的复制原盘、复制原盘的制造方法、物品和被形成体的制造方法。

技术方案

为了解决上述课题，本发明的复制原盘具备基材层和形成在上述基材层上且具有微细凹凸图案的表面形状体，上述表面形状体的软化温度比上述基材层的软化温度高。

另外，在本发明的复制原盘中，优选上述基材层具有挠性。

另外，在本发明的复制原盘中，优选上述基材层和上述表面形状体通过由1层以上的层构成的中间层而被固定。

另外，在本发明的复制原盘中，优选在上述表面形状体的微细凹凸图案的表面形成有脱模层。

另外，在本发明的复制原盘中，优选上述表面形状体由无机化合物构成。

另外，在本发明的复制原盘中，优选上述基材层的伸长率为10％以上。