[发明专利]光学部件及激光加工机

说明书

本发明提供一种光学部件，其特征在于，在Ge基板的至少单面，从该Ge基板侧起依次层叠有氟化物膜、Ge膜及类金刚石膜(DLC膜)。优选氟化物膜的膜厚为500nm～950nm，优选Ge膜的膜厚为50nm～150nm，优选DLC膜的膜厚为50nm～300nm。优选氟化物膜由从通过YF₃、YbF₃及MgF₂构成的组选择的至少一种构成。

技术领域

本发明涉及光学部件及搭载有该光学部件的激光加工机。

背景技术

以波长9μm～11μm振荡的CO₂激光能够进行高输出振荡、树脂中的吸收率高，因此被用于向在以智能手机为代表的电子设备中内置的印刷配线板的开孔加工。

在开孔加工用的激光加工机中，聚光透镜设置于加工区域的上方，因此存在下述问题，即，由于在加工时产生的树脂的蒸气、树脂溅射、铜溅射等，污垢会附着于聚光透镜。以往，为了防止该问题，被称为保护窗口(保护窗)的光学部件配置于聚光透镜和被加工物之间，防止了聚光透镜的损伤、劣化。针对保护窗口要求的主要的性能为，相对于作为红外光的CO₂激光具有高透过性及具有承受针对附着的粉尘、溅射物等的擦拭的耐磨性。

在专利文献1中提出了下述红外线透过构造体，即，在ZnS制基板的表面侧，从基板面起依次层叠有第1Y₂O₃层、YF₃层、第2Y₂O₃层及金刚石状碳层的红外线透过构造体，以及在ZnS制基板的表面侧，从基板面起依次层叠有厚度10～200nm的ZnS、Al₂O₃、Y₂O₃中的任1层、厚度100～750nm的Ge层、厚度500～2000nm的金刚石状碳层。

在专利文献1中，与至此为止的红外线透过构造体相比，具有优异的耐冲击性和耐久性，而且实现了耐剥离性和透过率优异的红外线透过构造体。

专利文献1：日本特开2008－268277号公报

发明内容

但是，在专利文献1中提出的红外线透过构造体，存在下述问题，即，在最表层形成有金刚石状碳层，因此耐磨性良好，但在作为激光加工机的光学部件使用的情况下得不到充分的光学性能。在通过搭载有如上所述的光学部件的激光加工机实施激光加工的情况下，光学部件对红外光进行吸收，由此在ZnS制基板产生温度分布，发生被称为热透镜效应的激光的传送精度的降低。特别地，在将光学部件作为保护窗口搭载的开孔加工用的激光加工机中，光学部件对红外光进行吸收，由此发生热透镜效应，无法实现期望的孔位置及孔形状的加工，存在产生标准外的不合格品这样的问题。在开孔加工用的激光加工机中，为了防止如上所述的问题，对激光加工的速度进行限制而实现了所需的加工精度，但由于加工速度的限制，导致生产率降低。

本发明就是为了解决上述的问题而提出的，其目的在于提供针对CO₂激光具有高透过率且耐磨性优异的光学部件。

本发明是一种光学部件，其特征在于，在Ge基板的至少单面，从该Ge基板侧起依次层叠有氟化物膜、Ge膜及类金刚石膜(DLC膜)。

发明的效果

根据本发明，能够提供针对CO₂激光具有高透过率且耐磨性优异的光学部件。另外，搭载有本发明的光学部件的激光加工机，在高速加工时也能够进行高精度的加工。

附图说明

图1是表示实施方式1所涉及的光学部件的结构的示意剖视图。

图2是表示实施方式1所涉及的光学部件的其他结构的示意剖视图。

图3是表示实施方式2所涉及的光学部件的结构的示意剖视图。