[发明专利]过滤器

说明书

一种设于使气体循环并对工件进行热处理的清洁烤箱(10)的金属制的过滤器(4)，包括：顶部(41)，所述顶部(41)朝供被热处理的工件(W)配置的热处理室(2)侧突出；以及侧部(42～45)，所述侧部(42～45)与顶部(41)连续形成。

技术领域

本发明涉及一种过滤器，在用于对半导体元件、精密材料等进行干燥、烧成等的清洁烤箱中使用。

背景技术

以往，如专利文献1所示，在清洁烤箱中，设置有去除细小的灰尘(颗粒)的HEPA过滤器。

在此，如专利文献2所示，由于HEPA过滤器由玻璃纤维、陶瓷纤维而制成滤材，因此，会因温度变化而产生灰尘，从而存在向清洁烤箱的热处理室带入颗粒这样的技术问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2005-156089号公报

专利文献2：日本专利特开平5-208112号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

此外，在专利文献2中，公开了为了抑制温度变化，设置专用的加热器。但是，存在设备大规模、成本增加这样的技术问题。

因此，本发明的目的在于提供一种能抑制成本增加并使带入热处理室内的颗粒量降低、应用于清洁烤箱的过滤器。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明是一种金属制的过滤器，设于使气体循环并对工件进行热处理的清洁烤箱，其特征在于，包括：

顶部，上述顶部朝供被热处理的工件配置的热处理室侧突出；以及

侧部，上述侧部与上述顶部连续形成。

根据上述结构，通过采用金属制的过滤器，从而能抑制过滤器产生灰尘，能降低带入热处理室内的颗粒量。此外，若欲利用金属制的过滤器来提高颗粒的捕集效率，则会因过滤器使压力损失增大，但过滤器包括顶部以及与顶部连续形成的侧部，从而能增加气体的流通面积，因此能采用捕集效率提高了的金属制过滤器。其结果是，无需对设有专利文献2所示的加热器等这样的设备进行大规模地改变，能提供一种抑制成本增加的清洁烤箱。

此外，较为理想的是，本发明还包括以下结构。

(1)上述顶部和上述侧部各自包括金属制的过滤构件和金属制的框架构件，具有板状，

上述框架构件通过焊接安装于上述过滤构件的外周。

(2)上述侧部从上述顶部的外周整体连续形成。

(3)在上述侧部的端部形成有凸缘部。

(4)上述顶部具有板状的过滤构件沿气流方向翻折的翻折形状。

根据上述结构(1)，顶部和侧部具有板状，作为板便于安装，从而便于滤器的组装。此外，由于过滤构件和框架构件均由金属构成，因此，能抑制由热膨胀差引起的过滤构件的松弛。此外，更为理想的是，过滤构件和框架构件是相同材质(例如是不锈钢)，热膨胀率相同。此外，过滤构件由金属形成，通过焊接安装有框架构件，因此，能防止过滤构件与框架构件之间的连结部处发生泄漏、产生灰尘。

根据上述结构(2)，侧部从顶部的外周部整体连续形成，其结果是，利用顶部和侧部形成立体形状，从而能容易地对过滤器进行操作、安装。

根据上述结构(3)，由于在侧部形成有凸缘部，因此，能容易地将侧部安装于清洁烤箱的内部框架。

根据上述结构(4)，顶部具有翻折形状，从而能进一步增加气体的流通面积，能采用捕集效率提高了的金属制过滤器。