[发明专利]成膜用掩模及成膜装置

权利要求书

1.一种成膜用掩模，具有：一对第一板部和一对第二板部，

所述成膜用掩模被配置在成膜时能够加热地支承基板的载置台的周围，并覆盖所述基板的周缘部而隔离于成膜源，

所述一对第一板部具有：一对第一内周缘部，其分别具有在第一轴向上相向并朝向相互分离的方向呈凸形状的第一弯曲部；一对第一外周缘部，其分别与所述一对第一内周缘部在所述第一轴向上相向；

所述一对第二板部具有：一对第二内周缘部，其分别具有在第二轴向上相向并朝向相互分离的方向呈凸形状的第二弯曲部；一对第二外周缘部，其分别与所述一对第二内周缘部在所述第二轴向上相向，

在所述一对第一板部和所述一对第二板部中，通过成膜时来自所述载置台的输入热量，所述第一弯曲部和所述第二弯曲部以成为直线形状的方式变形。

2.根据权利要求1所述的成膜用掩模，其中，

所述一对第一板部还具有多个第一缺口部，所述多个第一缺口部分别设置于所述一对第一外周缘部，在与所述第一轴向正交的第二轴向上隔开间隔地配置；

所述一对第二板部还具有多个第二缺口部，所述多个第二缺口部分别设置于所述一对第二外周缘部，在所述第一轴向上隔开间隔地配置。

3.根据权利要求1或2所述的成膜用掩模，其中，

所述一对第一板部和所述一对第二板部分别由单独的板构件构成。

4.根据权利要求3所述成膜用掩模，其中，

所述一对第一板部的两端部与所述一对第二板部的两端部重合。

5.根据权利要求1或2所述的成膜用掩模，其中，

所述一对第一板部和所述一对第二板部由陶瓷材料构成。

6.一种成膜装置，具有：

真空腔；

载置台，其配置在所述真空腔的内部，以能够对基板进行加热的方式支承所述基板；

成膜源，其以与所述载置台相向的方式配置；

掩模，其配置在所述载置台的周围，覆盖所述基板的周缘部而隔离于所述成膜源，

所述掩模具有：一对第一板部和一对第二板部，

所述一对第一板部具有：一对第一内周缘部，其分别具有在第一轴向上相向并朝向相互分离的方向呈凸形状的第一弯曲部；一对第一外周缘部，其分别与所述一对第一内周缘部在所述第一轴向上相向；

所述一对第二板部具有：一对第二内周缘部，其分别具有在第二轴向上相向并朝向相互分离的方向呈凸形状的第二弯曲部；一对第二外周缘部，其分别与所述一对第二内周缘部在所述第二轴向上相向，

在所述一对第一板部和所述一对第二板部中，通过成膜时来自所述载置台的输入热量，所述第一弯曲部和所述第二弯曲部以成为直线形状的方式变形。

7.根据权利要求6所述的成膜装置，其中，

所述一对第一板部还具有多个第一缺口部，所述多个第一缺口部分别设置在所述一对第一外周缘部，在与所述第一轴向正交的第二轴向上隔开间隔地配置；

所述一对第二板部还具有多个第二缺口部，所述多个第二缺口部分别设置在所述一对第二外周缘部，在所述第一轴向上隔开间隔地配置。

8.根据权利要求6或7所述的成膜装置，其中，

还具有能够支承所述掩模的掩模支承构件；

所述掩模支承构件设置在所述载置台的周围，具有容许与所述第一轴向以及第二轴向平行的面内的所述掩模的热伸长的支承部。

9.根据权利要求8所述的成膜装置，其中，

所述一对第一板部分别具有第一主贯穿孔和一对第一辅助贯穿孔，所述第一主贯穿孔具有与所述第一轴向平行的长轴，所述一对第一辅助贯穿孔具有与所述第二轴向平行的长轴，夹着所述第一主贯穿孔在所述第二轴向上相互相向；

所述支承部包含多个第一定位销，所述第一定位销分别穿过所述第一主贯穿孔以及所述一对第一辅助贯穿孔，能够相对于所述一对第一板部相对移动。

10.根据权利要求8所述的成膜装置，其中，

所述一对第二板部分别具有第二主贯穿孔和一对第二辅助贯穿孔，所述第二主贯穿孔具有与所述第二轴向平行的长轴，所述一对第二辅助贯穿孔具有与所述第一轴向平行的长轴，夹着所述第二主贯穿孔在所述第一轴向上相互相向；

所述支承部包含多个第二定位销，所述第二定位销分别穿过所述第二主贯穿孔以及所述一对第二辅助贯穿孔，能够相对于所述一对第二板部相对移动。