[发明专利]气体传感器设备及其制造方法

说明书

本发明提供了具有包含抑制电力消耗的线圈状的加热器部的气体检测部的小型气体传感器设备。包装体(15)包含形成有凹部的基座(40)，从盖(20)的最上部到最下部的高度为5mm以下。第一电极到第三电极(83)在被嵌入到基座(20)的状态下被固定于凹部(41)的周围。气体检测元件(60)具有包含线圈状的加热器部的气体检测部以及从气体检测部延伸到第一电极到第三电极(83)的金属制的多个引线。气体检测元件(60)在包含加热器部的气体检测部通过多个引线以不与凹部的壁接触的方式悬吊于凹部内以及凹部上的空间的状态下加以固定。

技术领域

本发明涉及检测特定气体的气体传感器设备及其制造方法。

背景技术

使用检测特定气体的气体检测元件的气体传感器设备中，存在气体检测元件具有包括线圈状的加热器部的气体检测部，对作用于检测对象气体的气体检测部进行加热的设备。例如，专利文献1(日本专利特开平7-198644号公报)公开了为了形成气体检测部，在气体感应金属氧化物半导体中内置线圈状的加热器部的气体传感器设备。该线圈状的加热器部也兼具用于从气体检测部取出信号的电极的作用。

在对用于检测特定气体的气体检测元件进行加热的情况下，存在为了对线圈状的加热器部通电进行加热而电力消耗变大的倾向。当该加热器部的电力消耗大时，手机等的通过电池运作的机器中需要装入气体传感器设备的情况下，估计发挥机器本来的功能的时间会变短。在这样的气体传感器设备中，存在电力消耗越大气体传感器设备的用途越窄的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开平7-198644号公报

发明内容

虽然能通过例如使气体检测元件变小而抑制气体传感器设备的电力消耗，但是不能解决收纳变小的气体检测元件的气体传感器设备的包装体不适应气体检测元件的大小，和仍旧难以装入手机等的比较小的机器的问题。

本发明的课题为提供一种具有气体检测部的小型气体传感器设备，该气体检测部包括抑制消耗电力的线圈状的加热部。

以下，对作为用于解决课题的方法的多个方面进行说明。这些方面能根据需要任意地进行组合。

本发明的一观点涉及的气体传感器设备具备：包装体，所述包装体包括形成有采集气体的贯通孔的盖和形成有凹部的基座，按照所述凹部的周围能够有空间的方式，在盖覆盖基座的状态下从盖的最上部到基座的最下部的高度为5mm以下；金属制的多个电极，在被埋入基座的状态下被固定于凹部的周围；以及气体检测元件，所述气体检测元件具有包括在检测规定的气体时发热的线圈状的加热器部的气体检测部，和从气体检测部延伸到多个电极的金属制的多个引线，其中，气体检测元件在包括加热器部的气体检测部通过多个引线以不与凹部的壁接触的方式悬吊在凹部内和/或凹部上的空间的状态下加以固定。

本发明的一观点涉及的气体传感器设备，在配置于基座的凹部的周围的金属制的多个电极连接有金属制的多个引线，由于包括加热器部的气体检测部以悬吊状态固定于凹部内的空间，因此气体检测部越小型化凹部以及为了包围凹部的精度良好地加以配置的电极做得越小从而能使它们聚集。其结果是，能将凹部以及电极的占据领域变小，气体传感器设备整体的形状也能小型化。

在上述的气体传感器设备中，盖也可以为：多个贯通孔形成于气体检测部的正上方以外的场地。通过如此构成，能抑制尘埃和水滴附着在气体检测部。