[发明专利]用于在非导电衬底上成像浮动金属结构的充电控制的方法及系统

权利要求书

1.一种扫描电子显微镜设备，其包括：

样本台，其经配置以固定样本；

电子光学柱，其包括：

电子源，其经配置以生成初级电子束；及

一组电子光学元件，其经配置以将所述初级电子束的至少部分引导到所述样本的安置在绝缘材料上的一个或多个电浮动金属结构上；

检测器组合件，其经配置以检测从所述样本的表面射出的电子；及

控制器，其通信地耦合到所述检测器组合件，所述控制器包含经配置以执行保存在存储器中的程序指令的一或多个处理器，所述程序指令经配置以引起所述一或多个处理器：

引导所述电子光学柱使用所述初级电子束来执行所述样本的安置在所述绝缘材料上的所述一个或多个电浮动金属结构的图像扫描及泛射扫描的交替系列，其中所述图像扫描在第一着陆能量范围上被执行，且所述泛射扫描以小于所述图像扫描的所述第一着陆能量范围的额外着陆能量被执行，其中所述泛射扫描通过经由所述一个或多个电浮动金属结构的一表面吸收所述泛射扫描的电子以使所述一个或多个电浮动金属结构的所述表面带负电，其中所述图像扫描通过所述图像扫描的发射电子以使所述一个或多个电浮动金属结构的所述表面带正电，其中所述泛射扫描经配置以在所述一个或多个电浮动金属结构上建立表面充电的动态平衡，以使在泛射状态下的充电效应抗衡在图像状态下的充电效应；以及

确定是否已经执行预定数目的图像扫描，其中当所述预定数目的图像扫描已经执行，组合所述交替系列的图像扫描以形成最终图像。

2.根据权利要求1所述的设备，其中舍弃所述交替系列的泛射扫描。

3.根据权利要求1所述的设备，其中所述一组电子光学元件包括：

聚光透镜。

4.根据权利要求1所述的设备，其中所述一组电子光学元件包括：

物镜。

5.根据权利要求1所述的设备，其中所述一组电子光学元件包括：

一组扫描元件。

6.根据权利要求1所述的设备，其中所述电子源包括：

一或多个电子枪。

7.根据权利要求1所述的设备，其中所述检测器组合件包括：

次级电子检测器或背向散射电子检测器中的至少一者。

8.根据权利要求1所述的设备，其进一步包括：

偏置控制电路，其经配置以控制所述样本台的偏置。

9.根据权利要求8所述的设备，其中所述控制器经配置以调整所述电子光学柱的一或多个组件或所述偏置控制电路中的至少一者来执行所述图像扫描及所述泛射扫描中的至少一者。

10.根据权利要求1所述的设备，其进一步包括：

真空系统。

11.根据权利要求1所述的设备，其中所述泛射扫描经配置通过使所述一个或多个电浮动金属结构的所述表面的电势维持于与所述额外着陆能量的电势大致相同的电势，以在所述一个或多个电浮动金属结构上建立表面充电的动态平衡。