[发明专利]图案化方法及图案化装置

权利要求书

1.一种图案化方法，其是对光固化性的图案化材料进行光照射而形成图案的图案化方法，其具备下述工序：

i)对具备具有光照射面的底部的造型用托盘供给具有第1比重d₁的液状的脱模材料、及具有比所述第1比重d₁小的第2比重d₂且与所述脱模材料呈相分离的液状的所述图案化材料，设置与所述底部接触的所述脱模材料的第1液层，同时在所述第1液层上形成与所述第1液层接触的所述图案化材料的第2液层，在所述第2液层的与所述第1液层的界面附近形成所述图案化材料的液膜的工序；和

ii)隔着所述第1液层对所述液膜照射光，使所述液膜光固化而形成图案的工序，

其中，所述第1比重d₁为1.2以上，

所述第1比重d₁与所述第2比重d₂之差为0.1以上，

所述图案化材料的表面张力与所述脱模材料的表面张力之差的绝对值为10mN/m以上。

2.根据权利要求1所述的图案化方法，其中，

所述脱模材料是相对于所述图案化材料及所述光为不活泼性的液体，

所述液体为氟系液体或盐的溶液。

3.根据权利要求1或2所述的图案化方法，其中，

所述工序ii)的形成所述图案时的所述脱模材料的粘度为10Pa·s以下。

4.根据权利要求1或2所述的图案化方法，其中，

在所述工序i)中，使平台的图案形成面浸渍于所述第2液层中，在所述图案形成面与所述第1液层之间形成所述液膜。

5.根据权利要求4所述的图案化方法，其中，在所述工序ii)之后进一步具有以下工序：

iii)使所述图案形成面上升，在所述图案与所述第1液层之间形成所述图案化材料的另一个液膜的工序；

iv)隔着所述第1液层对所述另一个液膜照射光，使所述另一个液膜光固化，在所述图案上层叠另一个图案的工序。

6.根据权利要求5所述的图案化方法，其中，

将所述工序iii)和所述工序iv)反复进行多次。

7.根据权利要求1或2所述的图案化方法，其中，

所述脱模材料为具有全氟碳结构的液状材料，

在所述造型用托盘与所述第1液层之间的至少一部分中形成包含表面调整剂的被膜。

8.一种图案化装置，其是用于对光固化性的图案化材料进行光照射来形成图案的图案化装置，其具备：

造型用托盘，其具备具有光照射面的底部，用于供给具有第1比重d₁的液状脱模材料、及具有比所述第1比重d₁小的第2比重d₂且与所述脱模材料呈相分离的液状的所述图案化材料，设置与所述底部接触的所述脱模材料的第1液层，同时在所述第1液层上形成与所述第1液层接触的所述图案化材料的第2液层，在所述第2液层的与所述第1液层的界面附近形成所述图案化材料的液膜；和

光源，用于隔着所述第1液层对所述液膜照射光，使所述液膜光固化而形成图案，

其中，所述第1比重d₁为1.2以上，

所述第1比重d₁与所述第2比重d₂之差为0.1以上，

所述图案化材料的表面张力与所述脱模材料的表面张力之差的绝对值为10mN/m以上。

9.根据权利要求8所述的图案化装置，其中，进一步具备能够上下移动的平台，所述平台具有图案形成面，用于使所述图案形成面浸渍于所述第2液层中，在所述图案形成面与所述第1液层之间形成所述液膜。