[发明专利]能够完全关闭的薄膜阀

权利要求书

1.一种阀，其包括：

流体块，其包括处理流体入口及处理流体出口；阀板，其包括致动流体腔穴；及阀组合件，其安置于由流体块及阀板形成的组合件腔穴中；

阀腔穴，其位于所述组合件腔穴中，所述阀腔穴形成于所述组合件腔穴中的薄膜间隔件与阀座之间；

柱塞，其位于所述组合件腔穴中，所述柱塞包括形成于柱塞杆中的柱塞腔穴，及所述柱塞中的柱塞流体流动通道，所述柱塞流体流动通道流体连接所述致动流体腔穴及柱塞腔穴；

薄膜组合件，其位于所述组合件腔穴中，所述薄膜组合件包括薄膜及轴毂，所述薄膜组合件由所述组合件腔穴中的所述薄膜间隔件及所述流体块固定且将所述阀腔穴流体分隔成处理流体侧及致动流体侧，所述轴毂通过所述薄膜间隔件的中央通道连接到所述柱塞杆，所述轴毂包括贯穿其间形成的流体流动通道，所述轴毂的流体流动通道提供介于致动流体腔穴、柱塞腔穴及所述阀腔穴的所述致动流体侧之间的流体连通。

2.根据权利要求1所述的阀，其中所述柱塞流体流动通道及轴毂流体流动通道具有长度及横截面，以使得在实质压力施加于所述薄膜的背面与薄膜间隔件之间的所述阀腔穴的所述致动流体侧的体积之前，或在所述致动流体侧的体积中的实质压力减小之前，通过所述致动流体腔穴中的压力的改变，而使柱塞朝向或远离所述阀板中的所述致动流体腔穴平移。

3.根据权利要求1所述的阀，其中所述柱塞流体流动通道贯通到柱塞腔穴及所述轴毂流体流动通道的开口，所述轴毂流体流动通道的开口贯通到薄膜的背侧，且当轴毂中的流体流动通道的开口贯通薄膜间隔件的中央通道时，阀腔穴的所述致动流体侧允许柱塞腔穴与阀腔穴之间的流体连通。

4.根据权利要求2所述的阀，其中所述柱塞流体流动通道贯通到柱塞腔穴及所述轴毂流体流动通道的开口，所述轴毂流体流动通道的开口贯通到薄膜的背侧，且当轴毂中的流体流动通道的开口贯通薄膜间隔件的中央通道时，阀腔穴的所述致动流体侧允许柱塞腔穴与阀腔穴之间的流体连通。

5.一种操作阀的方法，其包括：

将流体力施加于柱塞的背侧及薄膜组合件中的薄膜的背侧，所述柱塞及所述薄膜的背侧流体耦合；

使所述柱塞在阀组合件腔穴中移动，所述柱塞包括形成于柱塞杆中的柱塞腔穴，及位于所述柱塞中的柱塞流体流动通道，所述柱塞流体流动通道流体连接阀板中的致动流体腔穴及所述柱塞腔穴；

通过施加所述流体力以打开或关闭抵靠阀座的所述阀而使所述薄膜及所述薄膜组合件在所述阀组合件腔穴中移动，其中所述薄膜组合件包括薄膜及轴毂，所述薄膜组合件固定于所述阀组合件腔穴中的薄膜间隔件与流体块之间，所述薄膜组合件将所述阀组合件中的阀腔穴流体分隔成处理流体侧及致动流体侧，所述轴毂通过所述薄膜间隔件的通道连接到所述柱塞杆，所述轴毂包括贯穿其间形成且使致动流体腔穴、所述柱塞腔穴及所述阀腔穴的所述致动流体侧流体互连的轴毂流体流动通道。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述力由致动流体的真空压力或减压通过柱塞中的柱塞流体流动通道、所述柱塞中的柱塞腔穴，及通过薄膜组合件的轴毂的流体流动通道施加，所述柱塞与薄膜组合件协作以允许所述柱塞流体流动通道与薄膜后面的阀腔穴的所述致动流体侧的环形空间之间的流体连通。

7.根据权利要求5所述的方法，其进一步包括将流体从入口流体流动路径引入所述阀腔穴的处理流体侧中。

8.根据权利要求5所述的方法，其中所述处理流体具有介于100与20,000厘泊之间的粘度。