[发明专利]连续涂布装置和连续涂布方法

说明书

本发明的课题在于，一边以卷对卷的方式进行连续输送，一边高精度地对长薄膜涂布涂布液。针对该课题，提供连续涂布装置(10)，其连续输送长薄膜(2)并涂布规定的图案，其中，该连续涂布装置(10)构成为具有：涂布辊(1)，其对长薄膜(2)进行卷绕；摄像装置(3)，其对卷绕于涂布辊(1)的长薄膜(2)上的标记(21、23)或图案进行拍摄；以及涂布头(5)，其对卷绕于涂布辊(1)的长薄膜(2)涂布规定的图案，涂布头(5)设置在比摄像装置(3)靠长薄膜(1)的输送方向下游侧的位置。

技术领域

本发明涉及对以卷对卷(roll to roll)的方式输送的长薄膜连续地涂布涂布液并高精度地形成电路图案的连续涂布装置和连续涂布方法。

背景技术

以往，为了形成电路图案，公知有溅射、CVD、光刻等技术，但近年来，为了实现低成本、节能、节省资源，越来越关注使用了各种印刷技术的电路图案的形成技术(印刷电子技术)。其中，开发出如下技术：在从喷墨喷嘴向基材滴下金属墨液而形成了电路图案之后，从喷墨喷嘴向基材滴下绝缘层，然后接着从喷墨喷嘴向基材滴下金属墨液而形成电路图案，从而形成多层的电路图案。

并且，为了在长薄膜上涂布涂布液，从生产效率的观点出发，经常以卷对卷的方式输送长薄膜并连续地进行涂布。但是，在以卷对卷的方式输送长薄膜而进行涂布的情况下，需要进行解决了长薄膜上所产生的变形或伸缩的涂布。

在专利文献1中，记载了如下结构：在将长薄膜吸附于吸附载台的状态下进行定位，从而不使长薄膜发生变形，能够高精度地进行涂布。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-9951号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，当将以卷对卷的方式输送来的长薄膜暂时吸附在吸附载台上并涂布涂布液的情况下，不是连续输送而是变成间歇输送，为了实现与干燥工序等后序工序的节拍平衡，需要设置储液器等缓冲器，存在制造工序大型化的问题。

为了解决上述问题，本发明的课题在于一边以卷对卷的方式进行连续输送一边高精度地对长薄膜涂布涂布液。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明提供连续涂布装置，其连续输送长薄膜并涂布规定的图案，其特征在于，该连续涂布装置具有：涂布辊，其对所述长薄膜进行卷绕；摄像装置，其对卷绕于所述涂布辊的所述长薄膜上的标记或图案进行拍摄；以及涂布头，其对卷绕于所述涂布辊的所述长薄膜涂布所述规定的图案，

所述涂布头设置在比所述摄像装置靠所述长薄膜的输送方向下游侧的位置。

通过该结构，能够一边以卷对卷的方式进行连续输送，一边对长薄膜高精度地涂布涂布液。

也可以是所述摄像装置的拍摄位置与来自所述涂布头的涂布液的着落位置之间的所述涂布辊上的长度大于等于所述长薄膜的所述规定的图案的长度。

通过该结构，能够准确地计测长薄膜的变形和伸缩，从而能够高精度地涂布出规定的图案。

也可以是在所述长薄膜的输送方向上具有多个所述涂布头，该多个涂布头分别沿着所述涂布辊的曲率设置，以便对卷绕于所述涂布辊的所述长薄膜垂直地喷出涂布液。

通过该结构，多个涂布头能够分别高精度地涂布涂布液。

也可以设置喷出循环调节部，该喷出循环调节部对所述涂布头所喷出的涂布液着落在所述长薄膜上的着落位置进行调节，所述喷出循环调节部根据所述摄像装置的拍摄结果来计算所述长薄膜的伸缩，从而对涂布液的喷出循环进行调节。

通过该结构，能够与长薄膜的伸缩对应地进行涂布。