[发明专利]电致变色调光元件用层叠基板和电致变色调光元件的制造方法

说明书

一种电致变色调光元件用层叠基板，其具有玻璃基板和透明导电膜，所述玻璃基板含有氧化硅、氧化铝、氧化硼、碱土金属氧化物及碱金属氧化物总计90摩尔％以上，并且含有碱金属氧化物总计12摩尔％以下，所述透明导电膜从所述玻璃基板侧起依次具有含锡的氧化铟膜以及含有钽、锑及氟中的一者以上的氧化锡膜，所述氧化铟膜直接形成于所述玻璃基板上，折射率小于0.4且消光系数大于0.4，所述氧化锡膜的膜厚大于35nm且为150nm以下。

技术领域

本发明涉及电致变色调光元件用层叠基板和电致变色调光元件的制造方法。

背景技术

电致变色调光元件(以下也简称为“调光元件”)包含通过电力的施加而切换为着色状态和透明状态的电致变色层以及对电致变色层施加电力的透明导电膜。透明导电膜形成于玻璃基板上。

对调光元件要求大型化、快速切换，对透明导电膜要求高透明且低电阻。在制造调光元件时，透明导电膜被加热至350℃以上的温度，因此需要在该加热后为高透明且低电阻的透明导电膜。

作为调光元件用透明导电膜，通常使用掺杂了Ga、Al等的ZnO类膜，掺杂了Sn的In₂O₃类膜(ITO膜)，掺杂了F、Sb、Ta等的SnO₂类膜。

SnO₂类膜耐热性优异，但为了达到低电阻需要使膜厚变厚。然而，在膜厚变厚时，透明性变差。

另一方面，ITO膜导电性优异，能够在不损害透明性的情况下达到低电阻。然而，ITO膜缺乏耐热性，由于350℃以上的温度下的加热而变成高电阻。其原因在于，由于氧存在下的焙烧，承担电特性的氧空位与氧结合而消失。

在专利文献1中提出了将具有基底层、导电层、耐氧化保护层的透明导电膜用于太阳能电池元件。作为导电层，使用ITO膜。为了抑制由ITO膜的加热导致的高电阻化，使用氧化物形成能小于ITO膜、与化学当量相比氧不足的氧化物作为基底层，具体而言使用SiO_x(1.2＜X＜1.8)。通过加热透明导电膜时SiO_x吸收氧来防止ITO膜的氧化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2012/157524号

发明内容

发明所要解决的课题

专利文献1的基底层的SiO_x具有小于ITO的氧化物形成能且具有高氧亲和性。因此，由于成膜时的氧分压的微小误差，SiO_x的X的值大幅波动。该波动对ITO膜的加热后的特性产生大的影响。因此，难以制作质量稳定的透明导电膜。

本发明是鉴于上述课题完成的，其主要目的在于，提供不需要ITO膜的基底层、在350℃以上的温度下加热后的导电性稳定且良好的电致变色调光元件用层叠基板。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，根据本发明的一个方式，

提供一种电致变色调光元件用层叠基板，该电致变色调光元件用层叠基板具有玻璃基板和透明导电膜，

所述玻璃基板含有氧化硅、氧化铝、氧化硼、碱土金属氧化物及碱金属氧化物总计90摩尔％以上，并且含有碱金属氧化物总计12摩尔％以下，

所述透明导电膜从所述玻璃基板侧起依次具有含锡的氧化铟膜以及含有钽、锑及氟中的一者以上的氧化锡膜，

所述氧化铟膜直接形成于所述玻璃基板上，所述氧化铟膜的在波长1.3μm下的折射率小于0.4，并且所述氧化铟膜的在波长1.3μm下的消光系数大于0.4，

所述氧化锡膜的膜厚大于35nm。

发明效果