[发明专利]用于测量植物的树液流动的微针探针以及具有其的树液流动测量装置

权利要求书

1.一种用于测量植物中的树液流动的微针探针，所述微针探针包括：

基板，其被插入到植物中，并且在厚度方向和宽度方向上为微型；

传感器单元，其被安装在所述基板上并且测量树液流动；以及

保护壁，其沿所述基板的纵向方向被安装在所述传感器单元的前侧和/或后侧以在所述基板上突出，其中，所述保护壁的厚度大于所述传感器单元的厚度。

2.根据权利要求1所述的微针探针，其中，所述基板的一个端部是尖锐的。

3.根据权利要求1所述的微针探针，其中，位于所述基板的插入植物中的一侧的薄部具有比位于与所述薄部相对位置的厚部更小的厚度。

4.根据权利要求1所述的微针探针，其中，在位于与所述基板的插入植物中的一侧相反的一侧处的基部上、沿所述基板的纵向方向形成有突出部，所述基部具有倾斜表面，所述倾斜表面被锥形化使得所述基板的宽度方向上的尺寸逐渐增大。

5.根据权利要求1所述的微针探针，其中，沿所述基板的纵向方向安装多个传感器单元。

6.根据权利要求1所述的微针探针，还包括：

腔，其形成在所述基板中；以及

悬置部，其被安装在所述腔上，

其中，所述传感器单元被安装在所述悬置部上，使得防止所述传感器单元与所述基板之间的热传递。

7.根据权利要求6所述的微针探针，其中，所述悬置部被形成为由阳极氧化铝和氮化硅(SiN)制成的薄膜。

8.根据权利要求1所述的微针探针，还包括：

接触焊盘，其将与所述传感器单元连接的总线连接至外部端子并且封装所述总线。

9.一种用于测量植物中的树液流动的微针探针，所述微针探针包括：

单个基板，其被插入到植物中，并且在厚度方向和宽度方向上为微型；以及

多个传感器单元，其沿所述单个基板的纵向方向被安装在所述单个基板上并且测量树液流动；

其中，所述多个传感器单元中的每个包括：沿与所述单个基板的纵向方向垂直的方向彼此分离的两个温度测量传感器，以及位于所述两个温度测量传感器之间的加热器。

10.根据权利要求9所述的微针探针，其中，所述传感器单元的温度测量传感器使用金属图案的电阻的温度系数。

11.一种用于测量植物中的树液流动的装置，该装置包括：

生成电流的电流生成单元；

电力供应单元，其供应操作所述电流生成单元所需的电力；

根据权利要求1至10中任一项所述的微针探针，其中，所述微针探针接收来自所述电流生成单元的电流，并且通过被插入植物中并且与木质部中的树液接触而构成测量电路；以及

控制单元，其基于由所述微针探针的传感器单元测量的值来计算树液流动密度。

12.根据权利要求11所述的装置，其中，提供多个所述微针探针以计算植物中的多个点处的树液流动。

13.一种制造用于测量植物中的树液流动的微针探针的方法，所述方法包括：

在基板上形成硅氧化层；

在所述硅氧化层上形成悬置部；

在所述悬置部上通过图案化传感器单元来形成传感器单元；以及

沿所述基板的纵向方向在所述传感器单元的前侧和/或后侧形成保护壁；

其中，所述基板沿纵向方向被插入到植物中，并且在厚度方向和宽度方向上为微型，以及，

其中，所述保护壁的厚度大于所述传感器单元的厚度。

14.根据权利要求13所述的方法，还包括：

将所述悬置部形成为多孔薄膜；以及

通过蚀刻位于所述悬置部下方的基板来形成腔。