[发明专利]在基材上对涂层材料进行烧结、结晶和/或交联的方法

权利要求书

1.用激光辐射在基材(1)上对涂层材料(2)进行烧结、结晶和交联中的至少一种的方法，

其中用激光束(8)沿重叠的处理迹线扫描所述涂层材料(2)，

-所述扫描是通过如下来进行的：在第一方向上采用第一速度在整个基材上移动激光束(8)，同时所述基材(1)以低于所述第一速度的第二速度相对于所述激光束(8)或者反之亦然在与所述第一方向成一定角度的第二方向上移动，

-其中选择所述激光束(8)的强度、所述第一速度和所述第一速度与所述第二速度的比例，以使在所述涂层材料(2)上的所述处理迹线的重叠导致所述涂层材料(2)的局部峰值温度高于阈值温度(17)，所述局部峰值温度在一个时间段(18)内重复达到，选择所述局部峰值温度和时间段(18)以实现所述涂层材料(2)的所述烧结、结晶和/或交联。

2.根据权利要求1所述的方法，其中在使用所述激光束(8)的扫描期间，对所述涂层材料(2)施加用工艺气体的强制冷却。

3.根据权利要求2所述的方法，其中N₂、O₂或空气被用作用于强制冷却的所述工艺气体。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中所述阈值温度(17)被选择为高于或等于600℃。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中选择所述激光束(8)的强度、所述第一速度和所述第一速度与所述第二速度的比例以实现高于1000℃的所述涂层材料(2)的峰值温度。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中所述第一速度被选择为在50和2500m/s之间。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其中所述激光束(8)的强度被选择为在1*10⁵和5*10⁷W/cm²之间。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的方法，其中形成所述激光束(8)以在所述涂层材料(2)上具有顶帽形强度分布。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法，其中所述激光束(8)被形成以在所述涂层材料(2)上的每个位置处具有在第二方向上比第一方向上延伸更大的强度分布。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的方法，其中选择在所述涂层材料(2)上的所述处理迹线的重叠，以使每个处理迹线与数量>15、优选地>25、更优选地>40、更优选地>50的进一步处理迹线重叠。

11.根据权利要求10所述的方法，其中选择在所述涂层材料(2)上的所述处理迹线的重叠，以使每个处理迹线与数量<150的进一步处理迹线、优选地<100的进一步处理迹线重叠。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的方法，其中所述涂层材料(2)用cw激光辐射的激光束(8)进行扫描。

13.根据权利要求1至12中任一项所述的方法，其中所述涂层材料(2)是溶胶-凝胶材料。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的方法，其中在固定位置处所述激光束加热所述涂层材料的有效加热时间与在该固定位置处的两个加热事件之间的时间之间的关系低于3×10^-3、优选低于2.5×10^-3。