[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于，具有：

激光光源，其输出激光束；

声光偏转器，其配置于从所述激光光源输出的激光束的路径上，并将入射的激光束转向朝向光束截止器的截止器路径、第1加工路径及第2加工路径中的任一个路径；

工作台，将加工对象物保持在转向所述第1加工路径的第1激光脉冲入射的位置及转向所述第2加工路径的第2激光脉冲入射的位置；

第1光束偏转器及第2光束偏转器，其分别配置于所述第1加工路径及所述第2加工路径上，并且改变朝向保持在所述工作台的加工对象物的入射位置；及

控制装置，其控制所述激光光源、所述声光偏转器、所述第1光束偏转器及所述第2光束偏转器，

所述控制装置重复进行如下步骤：

使所述第1光束偏转器及所述第2光束偏转器动作，从而使所述第1激光脉冲及所述第2激光脉冲的入射位置移动到目标位置的步骤；

指示所述激光光源开始振荡的步骤；

控制所述声光偏转器，从而从所述激光光源所输出的原始激光脉冲向所述第1加工路径切取所述第1激光脉冲，之后从相同的原始激光脉冲向所述第2加工路径切取所述第2激光脉冲的步骤；及

指示所述激光光源停止振荡的步骤，

在重复所述步骤的过程中，

从指示所述激光光源开始振荡的时刻到从所述激光光源所输出的原始激光脉冲向所述第1加工路径切取所述第1激光脉冲的时刻为止的经过时间不变，

向所述第1加工路径切取的所述第1激光脉冲的脉冲宽度变化，向所述声光偏转器发送向所述第1加工路径切取所述第1激光脉冲的切取信号到发送向所述第2加工路径切取所述第2激光脉冲的切取信号为止的经过时间不变，

所述声光偏转器具有独立调整向所述第1加工路径的衍射效率与向所述第2加工路径的衍射效率的功能，并且以向所述第1加工路径的衍射效率变得低于向所述第2加工路径的衍射效率的方式进行调整。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

在重复所述步骤的过程中，所述控制装置使向激光光源发送开始振荡的指令到发送停止振荡的指令为止的经过时间不变。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

所述控制装置存储所述激光光源的脉冲的重复周期的下限值与上限值，

在向所述激光光源发送开始振荡的指令的时刻到所述第1光束偏转器及所述第2光束偏转器结束动作的时刻为止的经过时间短于所述下限值时，所述控制装置不向所述激光光源发送开始振荡的指令直至经过相当于所述下限值的时间为止，

若向所述激光光源发送开始振荡的指令开始的经过时间在所述第1光束偏转器及所述第2光束偏转器结束动作以前到达了所述上限值，则所述控制装置向所述激光光源发送开始振荡的指令，并且控制所述声光偏转器以使输出的原始激光脉冲转向所述截止器路径。

4.根据权利要求3所述的激光加工装置，其特征在于，

重复周期的所述下限值与所述上限值相同。