[发明专利]树脂组合物、树脂层、临时粘贴粘接剂、层叠膜、晶片加工体及其应用有效
| 申请号: | 201780009939.6 | 申请日: | 2017-02-03 |
| 公开(公告)号: | CN108603028B | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
| 发明(设计)人: | 有本真治;藤原健典;冈泽彻 | 申请(专利权)人: | 东丽株式会社 |
| 主分类号: | C08L79/08 | 分类号: | C08L79/08;B32B27/00;B32B27/34;B32B27/38;C08K5/5415;C08L63/00;C08L83/04;C09D163/00;C09D179/08;C09D183/04;C09J11/06;C09J163/00;C09J179/08;C0 |
| 代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 杨宏军;李国卿 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 树脂 组合 临时 粘贴 粘接剂 层叠 晶片 加工 及其 应用 | ||
1.树脂组合物,其至少含有:(a)具有通式(1)表示的结构的聚酰亚胺树脂;及(b)包含芴基的交联剂,
并且,所述树脂组合物还含有(c)通式(6)表示的硅氧烷聚合物,
所述(c)通式(6)表示的硅氧烷聚合物不与所述(a)具有通式(1)表示的结构的聚酰亚胺共聚,
[化学式1]
m为1以上且100以下的自然数;R1、R2各自可以相同也可以不同,表示碳原子数为1~30的烷基、苯基或苯氧基;
[化学式2]
L为10以上且100以下的整数;R19及R20各自可以相同也可以不同,表示碳原子数为1~30及氮原子数为0~3的一价有机基团;R21及R22各自可以相同也可以不同,表示碳原子数为1~30的亚烷基或亚苯基;R23~R26各自可以相同也可以不同,表示碳原子数为1~30的烷基、烷氧基、苯基或苯氧基;需要说明的是,R23~R26的碳原子数为1~30的烷氧基中不包含聚氧化烯结构。
2.如权利要求1所述的树脂组合物,其中,所述(b)包含芴基的交联剂为包含芴基的环氧树脂。
3.如权利要求1或2所述的树脂组合物,其中,所述(b)包含芴基的交联剂的5%重量减少温度为250℃以上且400℃以下。
4.如权利要求1或2所述的树脂组合物,其中,相对于所述(a)聚酰亚胺树脂100质量%而言,所述(b)包含芴基的交联剂的含量为0.1质量%以上且40质量%以下。
5.如权利要求1或2所述的树脂组合物,其中,相对于所述(a)具有通式(1)表示的结构的聚酰亚胺树脂100质量%而言,所述(c)通式(6)表示的硅氧烷聚合物的含量为0.01质量%以上且30质量%以下。
6.如权利要求1或2所述的树脂组合物,所述树脂组合物还含有(d)硅烷偶联剂。
7.如权利要求6所述的树脂组合物,其中,相对于所述(a)具有通式(1)表示的结构的聚酰亚胺树脂100质量%而言,所述(d)硅烷偶联剂的含量为0.01质量%以上且30质量%以下。
8.如权利要求1或2所述的树脂组合物,所述树脂组合物还含有(e)无机微粒。
9.如权利要求8所述的树脂组合物,其中,相对于所述(a)聚酰亚胺树脂100质量%而言,所述(e)无机微粒的含量为0.1质量%以上且40质量%以下。
10.如权利要求1或2所述的树脂组合物,所述树脂组合物的固化后的玻璃化转变温度为30℃以上且150℃以下。
11.树脂层,其是通过形成权利要求1~10中任一项所述的树脂组合物的涂膜而得到的。
12.临时粘贴粘接剂,其包含权利要求1~10中任一项所述的树脂组合物。
13.如权利要求12所述的临时粘贴粘接剂,其用于电子电路形成基板或半导体电路形成基板与支承基板的贴合。
14.如权利要求13所述的临时粘贴粘接剂,其中,所述支承基板为硅基板、玻璃基板、膜中的任一者。
15.电子部件或半导体器件的制造方法,其使用了权利要求1~10中任一项所述的树脂组合物。
16.层叠膜,其在耐热性绝缘膜的至少一面层叠有权利要求1~10中任一项所述的树脂组合物。
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