[发明专利]树脂组合物、树脂层、临时粘贴粘接剂、层叠膜、晶片加工体及其应用有效

专利信息
申请号: 201780009939.6 申请日: 2017-02-03
公开(公告)号: CN108603028B 公开(公告)日: 2021-05-07
发明(设计)人: 有本真治;藤原健典;冈泽彻 申请(专利权)人: 东丽株式会社
主分类号: C08L79/08 分类号: C08L79/08;B32B27/00;B32B27/34;B32B27/38;C08K5/5415;C08L63/00;C08L83/04;C09D163/00;C09D179/08;C09D183/04;C09J11/06;C09J163/00;C09J179/08;C0
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 杨宏军;李国卿
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 树脂 组合 临时 粘贴 粘接剂 层叠 晶片 加工 及其 应用
【权利要求书】:

1.树脂组合物,其至少含有:(a)具有通式(1)表示的结构的聚酰亚胺树脂;及(b)包含芴基的交联剂,

并且,所述树脂组合物还含有(c)通式(6)表示的硅氧烷聚合物,

所述(c)通式(6)表示的硅氧烷聚合物不与所述(a)具有通式(1)表示的结构的聚酰亚胺共聚,

[化学式1]

m为1以上且100以下的自然数;R1、R2各自可以相同也可以不同,表示碳原子数为1~30的烷基、苯基或苯氧基;

[化学式2]

L为10以上且100以下的整数;R19及R20各自可以相同也可以不同,表示碳原子数为1~30及氮原子数为0~3的一价有机基团;R21及R22各自可以相同也可以不同,表示碳原子数为1~30的亚烷基或亚苯基;R23~R26各自可以相同也可以不同,表示碳原子数为1~30的烷基、烷氧基、苯基或苯氧基;需要说明的是,R23~R26的碳原子数为1~30的烷氧基中不包含聚氧化烯结构。

2.如权利要求1所述的树脂组合物,其中,所述(b)包含芴基的交联剂为包含芴基的环氧树脂。

3.如权利要求1或2所述的树脂组合物,其中,所述(b)包含芴基的交联剂的5%重量减少温度为250℃以上且400℃以下。

4.如权利要求1或2所述的树脂组合物,其中,相对于所述(a)聚酰亚胺树脂100质量%而言,所述(b)包含芴基的交联剂的含量为0.1质量%以上且40质量%以下。

5.如权利要求1或2所述的树脂组合物,其中,相对于所述(a)具有通式(1)表示的结构的聚酰亚胺树脂100质量%而言,所述(c)通式(6)表示的硅氧烷聚合物的含量为0.01质量%以上且30质量%以下。

6.如权利要求1或2所述的树脂组合物,所述树脂组合物还含有(d)硅烷偶联剂。

7.如权利要求6所述的树脂组合物,其中,相对于所述(a)具有通式(1)表示的结构的聚酰亚胺树脂100质量%而言,所述(d)硅烷偶联剂的含量为0.01质量%以上且30质量%以下。

8.如权利要求1或2所述的树脂组合物,所述树脂组合物还含有(e)无机微粒。

9.如权利要求8所述的树脂组合物,其中,相对于所述(a)聚酰亚胺树脂100质量%而言,所述(e)无机微粒的含量为0.1质量%以上且40质量%以下。

10.如权利要求1或2所述的树脂组合物,所述树脂组合物的固化后的玻璃化转变温度为30℃以上且150℃以下。

11.树脂层,其是通过形成权利要求1~10中任一项所述的树脂组合物的涂膜而得到的。

12.临时粘贴粘接剂,其包含权利要求1~10中任一项所述的树脂组合物。

13.如权利要求12所述的临时粘贴粘接剂,其用于电子电路形成基板或半导体电路形成基板与支承基板的贴合。

14.如权利要求13所述的临时粘贴粘接剂,其中,所述支承基板为硅基板、玻璃基板、膜中的任一者。

15.电子部件或半导体器件的制造方法,其使用了权利要求1~10中任一项所述的树脂组合物。

16.层叠膜,其在耐热性绝缘膜的至少一面层叠有权利要求1~10中任一项所述的树脂组合物。

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