[发明专利]流体控制装置以及气体管线部的装卸方法

说明书

本发明提供一种能够容易地将气体管线部相对于框架进行安装的流体控制装置及气体管线部的装卸方法。框架(2)的第一横框架部件(10)具备沿左右方向延伸的勾挂部件(16)、以及位于比勾挂部件(16)更靠下侧且形成有在前方开口的多个第一槽(13c)的下侧部(13)。沿上下方向延伸的管线支承部件(30)具有平板状的设备载置部(31)、以及从设备载置部(31)的左右两缘向后方突出的一对侧板部(32)。各侧板部(32)具有位于比勾挂部件(16)更靠下侧的基部(36)、以及位于比基部(36)更靠上侧且位于勾挂部件(16)后侧的上方部(37)。基部(36)中形成有向后方开口并嵌入至第一槽(13c)的第二槽(36a)，上方部(37)中设置有向前方突出并从上侧与勾挂部件(16)抵接的突起部(37A)。

技术领域

本发明涉及一种用于半导体制造装置等的流体控制装置、以及气体管线部的装卸方法。

背景技术

以往，提出了一种流体控制装置，其可固定于半导体制造装置的筐体的垂直壁面(例如参照专利文献1)。对于各气体管线部的管线保持部件，通过将其钩状的上端部勾挂于上横框架部件的切口，将管线保持部件的下端嵌入下横框架的狭缝，利用螺栓将上部罩及下部罩相对于上横框架部件及下横框架部件固定，从而将管线保持部件的上端部及下端部相对于上横框架部件及下横框架部件固定。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公开2012－241823号公报

发明内容

(一)要解决的技术问题

然而，在专利文献1中的流体控制装置中，在对管线保持部件进行装卸时，需要拆卸上部罩及下部罩，但由于与其他设备的关系，在上部罩的上侧空间不足，难以拆卸上部罩。另外，在将管线保持部件相对于上横框架部件进行装卸时，需要使管线保持部件的上端部通过一次上横框架的上侧，但由于在上部罩的上侧空间不足，因此难以装卸管线保持部件。此外，由于使用螺栓来固定管线保持部件，因此作业效率不佳。

因此，本发明的目的在于，提供一种可效率良好且容易地将气体管线部相对于框架进行安装的流体控制装置及气体管线部的装卸方法。

(二)技术方案

为了解决上述目的，作为本发明的一方式的流体控制装置，其中具备安装有流体控制设备的管线支承部件的气体管线部可装卸地安装于框架，在所述流体控制装置中所述框架具有第一横框架部件以及位于其下侧的第二横框架部件，所述第一横框架部件具备沿左右方向延伸的勾挂部件、以及位于比所述勾挂部件更靠下侧且形成有在前方开口的多个第一槽的下侧部，所述管线支承部件具有设备载置部、以及从所述设备载置部的左右两缘向后方突出的一对侧板部，各侧板部具有位于比所述勾挂部件下侧的基部、以及位于比所述基部更靠上侧且位于所述勾挂部件后侧的上方部，所述基部中形成有向后方开口且嵌入所述第一槽的第二槽，所述上方部中设置有向前方突出且从上侧与所述勾挂部件抵接的突起部。

此外，也可以是，在所述上方部的后端形成有以随着从其上端向下方前进而远离所述设备载置部的方式倾斜的倾斜面。

此外，也可以是，在所述管线支承部件的下端设置有通过螺栓而固定于所述第二横框架部件的螺栓固定部，所述螺栓固定部在未通过所述螺栓固定于所述第二横框架部件的状态下，以随着向下方前进而朝向前方的方式倾斜。

此外，也可以是，在所述第二横框架部件中形成有在左右方向上排列的多个第一固定孔，在所述管线支承部件的下端设置有形成了第二固定孔的螺栓固定部，通过在所述第二固定孔及对应的所述第一固定孔插入螺栓，从而所述螺栓固定部固定于所述第二横框架部件。

此外，也可以是，在所述第二横框架部件中形成有沿左右方向延伸并向前方开口的狭缝，在所述管线支承部件的下端设置有形成了第二固定孔的螺栓固定部，通过在所述第二固定孔及所述狭缝插入螺栓，从而所述螺栓固定部固定于所述第二横框架部件。