[发明专利]用于检测基板处理系统内的一个或多个环境条件的存在的系统和方法

权利要求书

1.一种用于操作基板处理集群工具的方法，该方法包括以下步骤：

将基板存储盒定位在所述基板处理集群工具的工厂界面内，所述基板存储盒界定内部容积，所述内部容积被调整尺寸并被布置以接收一个或多个基板；

通过由与多个传感器操作地相关联的处理器执行储存指令，来感测所述内部容积内的多个条件中的一个条件的发生或所述内部容积内的所述多个条件中的一个条件的持续中的至少一者；和

响应于所述感测步骤，进行产生警报或执行涉及所述基板存储盒的替代操作中的至少一个步骤。

2.根据权利要求1所述的用于操作基板处理集群工具的方法，其中所述感测步骤包括以下步骤：感测所述基板存储盒内的温度，且其中响应于所述温度感测而进行记录或显示实时温度测量的步骤中的至少一个者。

3.根据权利要求2所述的方法，其中下列中的至少一个条件成立：

响应于超过选定的温度阈值或温度持续阈值中的至少一者的感测温度而产生所述警报；或

当感测温度低于预定温度以下时，所述警报包括所述基板存储盒的可安全处置(safeto handle)状态。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述感测步骤包括对涉及所述基板存储盒的第一工艺的终止和涉及所述基板存储盒的第二工艺的起动之间的经历时间进行测量和显示中的至少一者。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述警报包括可见的经历时间显示或可听的经历时间超时指示中的至少一者。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述感测步骤包括以下步骤中的一个或多个：

操作光源以进行测量或监控所述基板存储匣和工厂介面中的至少一者内的一个或多个空中污染物的浓度中的至少一个步骤；

监控所述基板存储盒和工厂界面中的至少一者内的空中挥发性有机化合物、氧气水平和空中金属微粒中的至少一者；或

监控所述基板存储盒内的相对湿度。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述替代操作包括以下步骤中的至少一者：

在将基板从所述集群工具的处理腔室传输至所述内部容积之前在惰性气体内净化所述基板存储盒的所述内部容积；或

中止将基板从所述基板存储盒的所述内部容积传输进所述集群工具的处理腔室。

8.一种基板处理集群工具，包括：

至少一个工具，所述至少一个工具包括基板处理腔室；

工厂界面，所述工厂界面界定密封内部空腔，所述密封内部空腔被调整尺寸并被布置以接收多个基板存储盒；

至少一个基板存储盒，设置在所述内部空腔内，各基板存储盒界定内部容积，所述内部容积被调整尺寸并被布置以接收一个或多个基板；

多个传感器；和

处理器，所述处理器与所述多个传感器和存储器操作地相关联，所述存储器包含可由所述处理器执行以进行以下步骤的指令：

感测所述内部容积内的多个条件中的一个条件的发生或所述内部容积内的所述多个条件中的一个条件的持续中的至少一者；和

响应于所述感测步骤，进行产生警报或执行涉及所述基板存储盒的替代操作中的至少一个步骤。

9.根据权利要求8所述的基板处理集群工具，其中所述存储器包含指令，所述指令可由所述处理器执行以用于感测所述基板存储盒内的温度和用于响应于所述温度感测而进行记录和显示实时温度测量的步骤中的至少一者。

10.根据权利要求9所述的基板处理集群工具，其中储存在存储器中并可由所述处理器执行的所述指令响应于超过选定的温度阈值或温度持续阈值中的至少一者的感测温度而产生警报。

11.根据权利要求9所述的基板处理集群工具，其中储存在存储器中并可由所述处理器执行的所述指令在所述感测温度低于预定温度时产生基板存储盒可安全处置警报。