[发明专利]用于惯性传感器的微机械弹簧

权利要求书

1.用于惯性传感器的微机械弹簧(10)，具有：

-第一和第二弹簧元件(1、2)，所述弹簧元件相对彼此平行地布置并且锚固在所述惯性传感器的锚固元件(20)上；和

-布置在所述第一和第二弹簧元件(1、2)之间的、锚固在所述锚固元件(20)上的第三弹簧元件(4)，该第三弹簧元件在两个外侧上具有限定数量的节状元件(5a…5n)，所述节状元件构造为随着相对于锚固元件(20)的距离的增大而相对于所述第一和第二弹簧元件(1、2)限定地增大距离。

2.根据权利要求1所述的微机械弹簧(10)，其特征在于，所述第一和第二弹簧元件(1、2)在它们的端部区域上借助于连接元件(3)相互连接。

3.根据权利要求1或2所述的微机械弹簧(10)，其特征在于，在所述第一和第二弹簧元件(1、2)的外侧上在两侧分别布置有至少一个节状元件(5a…5n)。

4.惯性传感器，具有至少一个根据权利要求1至3中任一项所述的微机械弹簧(10)。

5.用于制造用于惯性传感器的微机械弹簧(10)的方法，所述方法具有以下步骤：

-提供第一弹簧元件(1)和第二弹簧元件(2)；

-将所述第一弹簧元件(1)和所述第二弹簧元件(2)平行地锚固在所述惯性传感器的锚固元件(20)上；

-提供第三弹簧元件(4)并且将所述第三弹簧元件(4)锚固在所述第一和第二弹簧元件(1、2)之间，其中，在所述第三弹簧元件(4)上在两个外侧上布置有限定数量的节状元件(5a…5n)，所述节状元件构造为随着相对于所述锚固元件(20)的距离的增大而相对于所述第一和第二弹簧元件(1、2)增大距离。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述第一和第二弹簧元件(1、2)在它们的端部区域上与连接元件(3)连接。

7.根据权利要求5或6所述的方法，其中，这样构造所述节状元件(5a…5n)相对于所述第一和第二弹簧元件(1、2)的距离，使得对于所述微机械弹簧(10)在所述节状元件(5a…5n)中的数量为1＜K＜n-1个节状元件与所述第一和第二弹簧元件(1、2)中的一个弹簧元件接触时产生非线性的弹性特性。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，在所述第一和第二弹簧元件(1、2)的外侧上分别构造有用于止挡到惯性传感器的震动质量(30)上的至少一个节状元件(5a…5n)。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的微机械弹簧(10)在惯性传感器中的应用。