[发明专利]半导体激光器模块、半导体激光器模块的制造方法有效
申请号: | 201780006201.4 | 申请日: | 2017-01-13 |
公开(公告)号: | CN108463929B | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 石毛悠太;片山悦治;木村俊雄 | 申请(专利权)人: | 古河电气工业株式会社 |
主分类号: | H01S5/022 | 分类号: | H01S5/022;G02B6/42;H01S5/40 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 宋融冰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体激光器 模块 制造 方法 | ||
半导体激光器(5)配置多列。将各个半导体激光器(5)的列设为半导体激光器设置列(21a、21b)。各个半导体激光器设置列(21a、21b)中的各个反射镜(11),从上方观察向大致相同轴方向反射光,构成光束群(23)。各个半导体激光器设置列(21a、21b)的光束群(23),形成于壳体(3)的宽度方向的两侧。即,针对各个半导体激光器设置列(21a、21b)每一列构成光束群(23),各个所述光束群(23)从上方观察形成于互相不同的轴上。
技术领域
本发明涉及小型且装配性良好的半导体激光器模块等。
背景技术
以往,存在一种将从多个半导体激光器输出的光与光纤耦合的半导体激光器模块。在半导体激光器模块的壳体内部并列设置多个半导体激光器。从而,若半导体激光器的设置数量增多,则半导体激光器模块的长度变长。因此,要求更小型的半导体激光器模块。
作为这种半导体激光器模块,存在如下半导体激光器模块:例如多个激光器以互相对置的方式配置,将与各个半导体激光器相对应的透镜以及反射镜在高度方向上配置多层,并与光纤耦合(例如专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:美国专利第8432945号公报
发明内容
发明要解决的问题
图8是表示如专利文献1所示的现有的半导体激光器模块100的俯视图。此外,图8是壳体103的上面的透视图。半导体激光器模块100主要由壳体103、半导体激光器105、透镜107、109、反射镜111、聚光透镜115、以及光纤119等构成。
在壳体103的内部配置半导体激光器105、透镜107、109、反射镜111、聚光透镜115、以及光纤119等。半导体激光器模块100为了提高半导体激光器105的装载效率,配置多列半导体激光器105。即,设置多个半导体激光器设置列121a、121b。
壳体103的底部以高度逐渐变高的方式形成为阶梯状。各个阶梯上表面成为半导体激光器设置面117。在各个半导体激光器设置面117设置半导体激光器105。
另外,各个半导体激光器设置列121a、121b的半导体激光器105以互相不同的高度配置于半导体激光器设置面117上。从而,配置于各个半导体激光器设置列121a、121b上的半导体激光器105以一定间距配置成全部不同的高度。
在各个半导体激光器设置列121a、121b中,在半导体激光器105的前方(射出方向)配置透镜107。另外,在其前方还配置透镜109。利用透镜107、109分别对从半导体激光器105射出的光的纵向以及横向进行准直。此外,透镜107、109针对各个半导体激光器105的每一个进行配置。
在此,各个半导体激光器设置列121a、121b的半导体激光器105以互相对置的方式配置,朝向壳体103的宽度方向的中央方向照射激光。在壳体103的中央大致一列地配置反射镜111。反射镜111配置于与对应的各个半导体激光器105相同的高度的设置面上。
从半导体激光器设置列121a、121b的半导体激光器105射出并利用透镜107、109进行准直的光,被反射镜111反射,大致垂直地改变方向。此时,从半导体激光器设置列121a的半导体激光器105射出的光、与从半导体激光器设置列121b的半导体激光器105射出的光,从上方观察在相同轴上进行反射。
利用各个反射镜111进行反射的光(光束群123),利用聚光透镜115进行聚光,并与光纤119进行光耦合。
图9是表示半导体激光器105与反射镜111的配置的概念图。从半导体激光器105照射的光(图中箭头X),具有预定的发散角度(图中θ)。该发散利用透镜109进行准直并用反射镜111反射(图中箭头Y)。
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