[发明专利]液体组合物和使用其的半导体基板的表面处理方法

权利要求书

1.一种液体组合物，其为对半导体基板材料赋予拒醇性的液体组合物，

所述液体组合物包含：

表面活性剂(A)0.01～15质量％，其具有式(1)所示的取代基和阴离子性亲水基团：

C_nF_2n+1- (1)

式(1)中，n为3以上且20以下的整数；

和，

化合物(B)0.0001～20质量％，其重均分子量为200以上且500000以下、且每1g具有4mmol以上且30mmol以下的氨基，所述化合物(B)为选自由聚乙烯亚胺、和具有式(2)或(3)所示的取代基的化合物组成的组：

式(2)中，R¹和R²各自独立地为氢或碳数1～6的烷基、烯基、炔基或芳基，

式(3)中，R³和R⁴各自独立地为氢或碳数1～6的烷基、烯基、炔基或芳基，

X^-为氟化物离子、氯化物离子、溴化物离子、碘化物离子、氟硼酸根离子、磷酸根离子、乙酸根离子、三氟乙酸根离子、硫酸根离子、硫酸氢根离子、甲硫酸根离子、氢氧化物离子、高氯酸根离子或硝酸根离子。

2.根据权利要求1所述的液体组合物，其中，所述阴离子性亲水基团具有式(4)、(5)、(6)或(7)所示的结构：

式(4)中，R⁵和R⁶各自独立地为氢或碳数1～6的烷基、烯基、炔基或芳基，

式(5)中，R⁷和R⁸各自独立地为氢或碳数1～6的烷基、烯基、炔基或芳基，

式(6)中，Z为金属、氢或季胺，

式(7)中，Z为金属、氢或季胺。

3.根据权利要求1所述的液体组合物，其中，所述化合物(B)包含以选自由如下物质组成的组中的1种或2种以上的化合物为原料单体的均聚物或共聚物：乙烯亚胺、丙-2-烯-1-胺、N-甲基丙-2-烯-1-胺、N,N-二甲基丙-2-烯-1-胺、N-乙基丙-2-烯-1-胺、N-乙基-N-甲基丙-2-烯-1-胺、N,N-二乙基丙-2-烯-1-胺、2-甲基丙-2-烯-1-胺、N,2-二甲基丙-2-烯-1-胺、N,N,2-三甲基丙-2-烯-1-胺、N-乙基-2-甲基丙-2-烯-1-胺、N-乙基-N,2-二甲基丙-2-烯-1-胺、N,N-二乙基-2-甲基丙-2-烯-1-胺、丁-2-烯-1-胺、N-甲基丁-2-烯-1-胺、N,N-二甲基丁-2-烯-1-胺、N-乙基丁-2-烯-1-胺、N-乙基-N-甲基丁-2-烯-1-胺、N,N-二乙基丁-2-烯-1-胺、2-甲基丁-2-烯-1-胺、N,2-二甲基丁-2-烯-1-胺、N,N,2-三甲基丁-2-烯-1-胺、N-乙基-2-甲基丁-2-烯-1-胺、N-乙基-N,2-二甲基丁-2-烯-1-胺、N,N-二乙基-2-甲基丁-2-烯-1-胺、2,3-二甲基丁-2-烯-1-胺、N,2,3-三甲基丁-2-烯-1-胺、N,N,2,3-四甲基丁-2-烯-1-胺、N-乙基-2,3-二甲基丁-2-烯-1-胺、N-乙基-N,2,3-三甲基丁-2-烯-1-胺、N,N-二乙基-2,3-二甲基丁-2-烯-1-胺、二烯丙基胺、N-烯丙基-N-甲基丙-2-烯-1-胺、N-烯丙基-N-乙基丙-2-烯-1-胺、N-烯丙基-N,N-二甲基丙-2-烯-1-胺、和它们的盐酸盐、硫酸盐、磷酸盐、硝酸盐或二氧化硫。